[发明专利]组件的电性连接方法和设备在审
申请号: | 201810914189.3 | 申请日: | 2018-08-13 |
公开(公告)号: | CN110828327A | 公开(公告)日: | 2020-02-21 |
发明(设计)人: | 周雷;刘瑞武;郭志 | 申请(专利权)人: | 鹏鼎控股(深圳)股份有限公司;宏启胜精密电子(秦皇岛)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/60 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 饶智彬;李艳霞 |
地址: | 518105 广东省深圳市宝安区燕*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 组件 连接 方法 设备 | ||
一种组件的电性连接方法及组件的电性连接设备,所述组件连接方法包括:将绝缘黏胶贴合于晶圆的导电凸点所在的侧面;压合所述绝缘黏胶,使得所述绝缘黏胶填充所述晶圆的导电凸点之间的间隙;从所述晶圆切割出芯片,并邦定所述芯片至一软板。所述组件的电性连接方法通过先将绝缘黏胶贴合在晶圆的导电凸点所在的侧面,然后压合绝缘黏胶使得绝缘黏胶填充于晶圆的导电凸点之间的间隙,从而可以改善芯片电性连接后胶水中含有气泡的问题。而且,由于绝缘黏胶先贴合在芯片的侧面,还可以避免绝缘黏胶溢出到芯片的背向凸块所在的侧面。
技术领域
本发明涉及组件的电性连接领域,具体涉及一种组件的电性连接方法和设备。
背景技术
本部分的陈述仅仅是提供了与本发明公开相关的背景技术信息,不必然构成在先技术。
目前屏幕的驱动芯片的封装方式有COG、COF,随着中高阶消费性电子产品(SmartPhone)对于屏幕的屏占比要求越来越高,屏幕的驱动芯片的封装尺寸也要求越来越小,目前COF的封装方式已成为屏幕驱动IC封装的趋势。
采用COF封装驱动芯片时,首先将芯片邦定在软板上,然后在芯片和软板之间填充胶水。随着芯片朝着薄型化、细间距化(Fine Pitch)发展,以及产品间隙越来越小,在电性连接芯片时会出现胶水填充不良,存在气泡以及胶水溢胶到芯片表面的问题。
发明内容
鉴于以上内容,有必要提供一种组件的电性连接方法和设备,旨在改善现有芯片电性连接时存在胶水气泡的问题。
一种组件的电性连接方法,包括:
将绝缘黏胶贴合于晶圆的导电凸点所在的侧面;
压合所述绝缘黏胶,使得所述绝缘黏胶填充所述晶圆的导电凸点之间的间隙;及
从所述晶圆切割出芯片,并邦定所述芯片至一软板。
进一步,在将绝缘黏胶贴合于晶圆的导电凸点所在的侧面之前,还包括将保护膜贴于所述绝缘黏胶的侧面的步骤。
进一步,在压合所述绝缘黏胶之后,从所述晶圆切割出芯片之前,还包括步骤:
调整所述绝缘黏胶,使得所述绝缘黏胶与所述晶圆的边缘平齐。
进一步,在调整所述绝缘黏胶,使得所述绝缘黏胶与所述晶圆的边缘平齐之后,从所述晶圆切割出芯片之前,还包括步骤:
打磨所述晶圆的背向所述导电凸点所在的侧面,直至所述晶圆的厚度达到预设厚度。
进一步,在打磨所述晶圆之后,从所述晶圆切割出芯片之前,还包括:
在所述晶圆的背向所述导电凸点的侧面贴合蓝膜,并去除所述保护膜。
一种组件的电性连接方法,包括:
将绝缘黏胶贴合于芯片的凸块所在的侧面;
压合所述绝缘黏胶,使得所述绝缘黏胶填充于所述芯片的凸块之间的间隙;
邦定所述芯片至一软板。
一种组件的电性连接设备,包括:
贴合模块,用于将绝缘黏胶贴合于晶圆的导电凸点所在的侧面;
压合模块,用于压合所述绝缘黏胶,使得所述绝缘黏胶填充所述晶圆的导电凸点之间的间隙;
切割模块,用于从所述晶圆切割出芯片;
邦定模块,用于邦定所述芯片至一软板。
进一步,还包括:
第一贴膜模块,用于将保护膜贴于所述绝缘黏胶的侧面;
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鹏鼎控股(深圳)股份有限公司;宏启胜精密电子(秦皇岛)有限公司,未经鹏鼎控股(深圳)股份有限公司;宏启胜精密电子(秦皇岛)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810914189.3/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:洗涤设备
- 下一篇:一种PCB板及电子设备
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造