[发明专利]晶圆框架载具有效
申请号: | 201810919997.9 | 申请日: | 2018-08-14 |
公开(公告)号: | CN110641841B | 公开(公告)日: | 2021-04-20 |
发明(设计)人: | 潘咏晋;林志铭;邱铭乾 | 申请(专利权)人: | 家登精密工业股份有限公司 |
主分类号: | B65D85/30 | 分类号: | B65D85/30;B65D25/10;B65D81/107 |
代理公司: | 深圳市舜立知识产权代理事务所(普通合伙) 44335 | 代理人: | 侯艺 |
地址: | 中国台湾新北*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 框架 | ||
1.一种晶圆框架载具,其特征在于,包括,:
一盒体,包括一开口、一顶板、一底板、一后板及两侧板共同形成的一容置空间;
二卡匣结构,设于所述容置空间中的两侧板上;
二金属防撞部,依序设于所述卡匣结构后方靠近所述后板的一侧;以及
一门板,与所述开口盖合;
其中,所述二金属防撞部依序通过复数个锁合组件固定于所述两侧板上。
2.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述门板上更包括一抵持部。
3.如权利要求2所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述抵持部包括:
一主板;
复数个穿设孔,设于所述主板上,所述复数个穿设孔为葫芦形;
复数个支撑件,设于所述主板上;以及
复数个卡合组件,穿过所述复数个穿设孔后滑动卡合,将所述抵持部固定于所述门板上。
4.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述顶板靠近所述开口的一侧更设有一防变形件。
5.如权利要求4所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述防变形件为一金属条,且所述金属条上设有复数个固定孔,复数个固定组件穿过所述复数个固定孔将所述金属条固定于所述顶板靠近所述开口的一侧。
6.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述后板上更设有至少一透明窗口。
7.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述顶板上更设有至少一提把。
8.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述门板上更设有至少一门闩。
9.如权利要求1所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述复数个锁合组件通过埋设于所述两侧板中的复数个埋设组件固定所述二金属防撞部。
10.如权利要求9所述的晶圆框架载具,其特征在于,所述二金属防撞部对应所述两侧板的外表面更设有复数个气密肋条。
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