[发明专利]一种新型的芯片定位装置在审
申请号: | 201810920432.2 | 申请日: | 2018-08-14 |
公开(公告)号: | CN109037133A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 陈志冰;孙佳威;傅东文 | 申请(专利权)人: | 广州晶睿达科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 510700 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹臂 芯片 定位槽 芯片定位装置 烧录机 中空轴 吸附 夹具 定位机构 定位旋转 工作效率 基座顶部 机械定位 机械结构 旋转定位 重复定位 搬运臂 可活动 夹持 优化 | ||
1.一种新型的芯片定位装置,其特征在于,包括:
基座,其设置有至少一用于吸附芯片的中空轴;
至少一定位夹具,其包括可活动的、设置在所述基座顶部的第一夹臂和第二夹臂,且第一夹臂和第二夹臂两者相对的立面上分别设置有定位槽;
初始时,中空轴吸附芯片并置于两个定位槽之间;所述第一夹臂和第二夹臂两者相对地运动,使两个定位槽同时夹持芯片,带动芯片旋转定位。
2.根据权利要求1所述的新型的芯片定位装置,其特征在于:
所述定位槽为开设在立面上的一直角状的切槽。
3.根据权利要求1所述的新型的芯片定位装置,其特征在于,所述定位夹具还包括驱动机构,其包括:
第一推杆,其顶端连接第一夹臂,第一推杆的末端悬空设置;
第二推杆,其顶端连接第二夹臂,第二推杆的末端悬空设置;
气缸,其设置在基座上;所述气缸的活动轴连接有一顶推件,该顶推件置于第一推杆和第二推杆之间;
其中,气缸的运动带动所述顶推件、同时抵顶第一推杆和第二推杆,使第一推杆和第二推杆之间相对运动,进而第一夹臂和第二夹臂张开。
4.根据权利要求3所述的新型的芯片定位装置,其特征在于:
所述定位夹具还包括若干设置在基座顶部的滑轨,且其对应第一夹臂和第二夹臂设置在中空轴的两侧;所述第一夹臂和第二夹臂可在滑轨上滑动。
5.根据权利要求3所述的新型的芯片定位装置,其特征在于:
所述定位夹具还包括弹性件,其一端连接第一夹臂、弹性件的另一端连接第二夹臂;所述弹性件用于两夹臂张开后的复位,带动两夹臂夹持芯片。
6.根据权利要求3所述的新型的芯片定位装置,其特征在于:
所述第一推杆和第二推杆的末端均为圆锥体状;
所述顶推件包括推板和滚轮,滚轮分别设置在推板的两端;所述滚轮置于两推杆的末端之间。
7.根据权利要求3所述的新型的芯片定位装置,其特征在于:
所述基座的顶部分别开设有限位第一推杆和第二推杆运动的条形孔;第一推杆和第二推杆的末端均穿设条形孔并悬空设置。
8.根据权利要求1所述的新型的芯片定位装置,其特征在于,还包括:
旋转机构,其设置在基座上、用于驱动中空轴旋转;所述旋转机构包括伺服电机、套接伺服电机输出轴的主动轮、套接中空轴的从传动轮、以及衔接主动轮和从动轮的传动带。
9.一种自动化烧录机,其特征在于,包括上述权利要求1至8所述的新型的芯片定位装置,还包括进出料机构、若干工序执行单元、出料机构和若干搬运臂组;
进出料机构,其包括芯片的进料组件和出来组件;
工序执行单元,其用于完成芯片烧录的单元组成,设置在进料组件和出料组件之间;
搬运臂组,其包括若干气动元件和若干移动组件;所述气动元件的活动轴设置有用于吸附芯片的真空吸附头;所述移动组件与所述气动元件驱动连接,往返运动在进出料机构、新型的芯片定位装置和若干工序执行单元之间作往返运动;
其中,新型的芯片定位装置可设置在进料组件与工序执行单元之间、或相邻的工序执行单元之间、以及工序执行单元与出料组件之间。
10.一种自动化烧录机的控制系统,其特征在于,其包括输入部分、控制部分和输出部分;所述输出部分包括上述权利要求1至8所述的新型的芯片定位装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造