[发明专利]一种烧结炉及其使用方法

说明书

本发明公开了一种烧结炉及其使用方法，属于晶硅太阳能电池生产制造技术领域，解决了现有的烧结炉的每个温区上下各只有一个进气孔，只能改变每个温区内进气孔的气流总量，但是不能改变每个温区内前后左右各个角落的气流氛围，影响浆料的烘干效果，进而影响电池的电性能的问题。包括烧结炉本体，所述烧结炉本体包括依次连通的烘干区、烧结区和冷却区，烧结炉本体内设有依次贯穿烘干区、烧结区和冷却区的传送网带，所述烘干区和烧结区内分别分成若干个加热温区，每个加热温区内分别设有若干个与外界气源连通的第一进气管道，所述第一进气管道等间距设置，烘干区的两端以及烧结区的两端分别设有废气排风管道；所述废气排风管道上设有抽风机。

技术领域

本发明涉及晶硅太阳能电池生产制造技术领域，具体涉及一种烧结炉及其使用方法。

背景技术

烧结工艺在整个硅电池制备领域中极其重要，所有硅电池的前道工序都在烧结工序中成型，成为最终的硅太阳能电池。烧结温度最高可以达到780℃。烧结工序中会将浆料中的有机物挥发并燃烧掉，而且浆料中很多物质也需要与氧气形成氧化物，但是由于浆料中的有机物量比较大，所以需要将一个合理的气流将浆料内的有机物挥发出来，另外还需要将挥发的有机物燃烧掉。

常规烧结炉内部的每个温区上下各只有一个进气孔，而且只能改变每个温区内进气孔的气流总量，但是不能改变每个温区内前后左右各个角落的气流氛围，另一方面常规的烧结通入的气体是压缩空气，其中的氧气与氮气的含量比是确定的1:4，不能改变其中的氧气的含量比。根据硅电池印刷银浆跟铝浆烧结原理，在烘干区需要大量的400℃左右的温度，稳定的气流将浆料内的有机物蒸发出去，但是由于压缩空气中含有大量氧气会在浆料表面形成氧化层，所以影响浆料的烘干效果。在烧结区，将硅片加热到700-800℃温度，浆料中的有机气体会大量挥发，并且燃烧，而且铝浆会在表面形成氧化铝薄层，而银浆也会在表面形成氧化银薄层。由于压缩空气中的氧气含量不够，所以有机气体燃烧不够充分，所以会形成部分胶状油状物质附着在网带、腔室、管道甚至在硅片表面上，所以也会影响电池的电性能。

发明内容

为了解决现有的烧结炉的每个温区上下各只有一个进气孔，只能改变每个温区内进气孔的气流总量，但是不能改变每个温区内前后左右各个角落的气流氛围，影响浆料的烘干效果，进而影响电池的电性能的问题，本发明提供一种烧结炉及其使用方法：本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种烧结炉，包括烧结炉本体，所述烧结炉本体包括依次连通的烘干区、烧结区和冷却区，烧结炉本体内设有依次贯穿烘干区、烧结区和冷却区的传送网带，传送网带的上下两侧的烧结炉本体内分别设有加热管，所述烘干区和烧结区内分别分成若干个加热温区，每个加热温区内分别设有若干个与外界气源连通的第一进气管道，所述第一进气管道等间距设置，烘干区的两端以及烧结区的两端分别设有废气排风管道；所述废气排风管道上设有抽风机。

进一步地，所述冷却区内分别设有若干个与外界气源连通的第二进气管道。

进一步地，所述加热温区内设有9个第一进气管道，第一进气管道分成等间距的3列设置在加热温区内，每列上的第一进气管等间距设置。

为了解决现有的烧结通入的气体是压缩空气，其中的氧气与氮气的含量比是确定的1:4，不能改变其中的氧气的含量比，影响浆料的烘干效果以及影响电池的电性能的问题，本发明还提供了上述烧结炉的使用方法：包括以下步骤：

(1)将硅片放入本发明的烧结炉本体的烘干区内的传送网带上，启动烧结炉本体内的加热管，把烘干区内的温度设置成350-450℃，把烧结区内的温度设置成600-900℃，把冷却区内的温度设置成10-20℃；

(2)当步骤(1)的硅片经过传送网带进入到烘干区内时，通过烘干区的第一进气管道向烘干区内通入氮气与氧气的混合气体；并同时启动烘干区两端的废气排风管道上的抽风机；