[发明专利]一种大型ITO靶材储存箱

权利要求书

1.一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体(2)、存储腔体(11)和移动柜(14)，其特征在于：所述主箱体(2)的底端固定安装有固定支腿(1)，所述主箱体(2)的表面通过合页安装有密封门体(7)，所述密封门体(7)的表面通过销轴安装有曲柄把手(4)，且曲柄把手(4)的一端向外延伸，所述密封门体(7)一侧的主箱体(2)表面焊接有卡环(3)，所述主箱体(2)的内部设置有存储腔体(11)，所述存储腔体(11)内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板(9)，所述存储腔体(11)的内部活动安装有移动柜(14)，且移动柜(14)的表面设置有凹槽(13)，所述移动柜(14)的内部均匀设置有存放隔腔(20)，所述存放隔腔(20)的内部皆活动安装有转运架(18)。

2.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述固定支腿(1)的表面套接有减震弹簧(6)，且减震弹簧(6)的两端皆焊接有固定支腿(1)表面。

3.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述存储腔体(11)的内部底端固定安装有防潮板(16)，防潮板(16)两侧的存储腔体(11)内部皆固定安装有限位滑槽(12)，限位滑槽(12)的表面限位安装有梯形滑块(1201)，且梯形滑块(1201)与移动柜(14)底端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述限位门板(9)内表面与存储腔体(11)的内壁表面皆固定安装有缓冲板(1001)，缓冲板(1001)的表面皆固定安装有复位弹簧(1002)，且复位弹簧(1002)的末端表面固定安装有挤压胶板(10)。

5.根据权利要求4所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述挤压胶板(10)两侧的存储腔体(11)内壁表面皆固定安装有弹性气囊(15)，且弹性气囊(15)的厚度自外而内缓缓增大。

6.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述转运架(18)的顶端焊接有搭板(21)，搭板(21)的表面焊接有拉环(19)，且转运架(18)的底端固定安装有橡胶支垫(1802)，且橡胶支垫(1802)的内部设置有限位槽。

7.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述转运架(18)的表面边缘处设置有四个U型滑槽(1801)，存放隔腔(20)的内壁表面固定安装有四个U型滑板(17)。

8.根据权利要求1所述的一种大型ITO靶材储存箱，其特征在于：所述曲柄把手(4)一侧的密封门体(7)表面固定安装有卡槽板(8)，主箱体(2)的顶端设置有放置槽(5)。