[发明专利]一种大型ITO靶材储存箱

说明书

本发明公开了一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体、存储腔体和移动柜，所述主箱体的底端固定安装有固定支腿，所述主箱体的表面通过合页安装有密封门体，所述密封门体的表面通过销轴安装有曲柄把手，所述密封门体一侧的主箱体表面焊接有卡环，所述主箱体的内部设置有存储腔体，所述存储腔体内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板，所述存储腔体的内部活动安装有移动柜，且移动柜的表面设置有凹槽，所述移动柜的内部均匀设置有存放隔腔，所述存放隔腔的内部皆活动安装有转运架。本发明通过设置有一系列的结构，使得该靶材储存箱，可对大型靶材进行存储的同时，方便拿取和存放，可对储存箱内部进行减震处理，对靶材进行充分保护。

技术领域

本发明涉及靶材储存技术领域，具体为一种大型ITO靶材储存箱。

背景技术

在镀膜靶材的分类中，ITO靶材被划分为陶瓷靶材类，本身力学性能较差，在遭受外部作用力时，极容易产生碰碎或开裂等不良现象发生，特别是大型的ITO靶材，在ITO靶材的存储过程中，为避免外部作用力对靶材的破坏，需保证存储箱或靶材盒具备充分的减震效果，而现有存放装置结构较为简单，无法对内部存放的靶材进行良好的限位，所能实现减震效果较为局限，对靶材的保护不足，在拿取时，是对靶材的某个位置施加作用力，而靶材过长或较大时，受力集中明显，存在形变甚至断裂的风险，市面上也存在一些对靶材进行充分限位，甚至具备良好减震效果的储存箱，只是该类存放箱内部结构复杂，在拿取或存放靶材时，过程较为复杂，不便于实际操作。

发明内容

本发明的目的在于提供一种大型ITO靶材储存箱，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种大型ITO靶材储存箱，包括主箱体、存储腔体和移动柜，所述主箱体的底端固定安装有固定支腿，所述主箱体的表面通过合页安装有密封门体，所述密封门体的表面通过销轴安装有曲柄把手，且曲柄把手的一端向外延伸，所述密封门体一侧的主箱体表面焊接有卡环，所述主箱体的内部设置有存储腔体，所述存储腔体内壁的表面边缘处通过合页安装有限位门板，所述存储腔体的内部活动安装有移动柜，且移动柜的表面设置有凹槽，所述移动柜的内部均匀设置有存放隔腔，所述存放隔腔的内部皆活动安装有转运架。

优选的，所述固定支腿的表面套接有减震弹簧，且减震弹簧的两端皆焊接有固定支腿表面。

优选的，所述存储腔体的内部底端固定安装有防潮板，防潮板两侧的存储腔体内部皆固定安装有限位滑槽，限位滑槽的表面限位安装有梯形滑块，且梯形滑块与移动柜底端固定连接。

优选的，所述限位门板内表面与存储腔体的内壁表面皆固定安装有缓冲板，缓冲板的表面皆固定安装有复位弹簧，且复位弹簧的末端表面固定安装有挤压胶板。

优选的，所述挤压胶板两侧的存储腔体内壁表面皆固定安装有弹性气囊，且弹性气囊的厚度自外而内缓缓增大。

优选的，所述转运架的顶端焊接有搭板，搭板的表面焊接有拉环，且转运架的底端固定安装有橡胶支垫，且橡胶支垫的内部设置有限位槽。

优选的，所述转运架的表面边缘处设置有四个U型滑槽，存放隔腔的内壁表面固定安装有四个U型滑板。

优选的，所述曲柄把手一侧的密封门体表面固定安装有卡槽板，主箱体的顶端设置有放置槽。