[发明专利]一种半导体基板进料的自动搬运设备有效
| 申请号： | 201810941335.1 | 申请日： | 2018-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109065490B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 沈良霖 | 申请（专利权）人： | 浙江雅市晶科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人： | 董芙蓉 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市长兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 进料 自动 搬运 设备 | ||
1.一种半导体基板进料的自动搬运设备，包括立柱(1)，其特征在于：所述立柱(1)一侧设有横杆(2)，所述横杆(2)一侧设有第一弹簧(3)，所述第一弹簧(3)一端与横杆(2)固定连接，所述第一弹簧(3)另一端设有平衡板(4)，所述平衡板(4)一侧设有固定块(5)，所述固定块(5)一侧设有吸盘(6)，所述固定块(5)一端横截面形状设置为半球形，所述吸盘(6)一侧设有凹槽，所述凹槽与固定块(5)一端相适配，所述吸盘(6)两侧均设有第二弹簧(7)，所述第二弹簧(7)一端与吸盘(6)固定连接，所述第二弹簧(7)另一端与平衡板(4)固定连接，所述吸盘(6)一侧设有通气管(8)，所述立柱(1)一侧设有连接件(9)，所述连接件(9)一端与立柱(1)固定连接，所述连接件(9)另一端设有齿轮盘(10)，所述齿轮盘(10)一侧设有步进电机(11)，所述步进电机(11)输出端与齿轮盘(10)相适配，所述连接件(9)一侧设有电动伸缩杆(12)，所述电动伸缩杆(12)一端与立柱(1)铰接，所述电动伸缩杆(12)底端与连接件(9)铰接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体基板进料的自动搬运设备，其特征在于：所述第一弹簧(3)内部设有伸缩套管(13)，所述伸缩套管(13)一端与横杆(2)固定连接，所述伸缩套管(13)另一端与平衡板(4)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体基板进料的自动搬运设备，其特征在于：所述通气管(8)一端连接有抽气泵。
4.根据权利要求1所述的一种半导体基板进料的自动搬运设备，其特征在于：所述吸盘(6)表面设有密封垫(14)，所述密封垫(14)由橡胶材料制成。
5.根据权利要求1所述的一种半导体基板进料的自动搬运设备，其特征在于：所述横杆(2)的数量设置为多个，多个所述横杆(2)均匀排布在立柱(1)表面,所述吸盘(6)一侧设有基板(15)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
