[发明专利]移动体装置

权利要求书

1.一种移动体装置，其具备：

第1移动体，可往第1方向移动；

第2移动体，与该第1移动体相向配置，可往该第1方向、及与该第1方向交叉的第2方向移动；

驱动系，对应该第1移动体往该第1方向的移动，使该第2移动体往该第1方向移动；

第1测量系，包含发出测量光束的读头及被该测量光束照射的标尺中的一方配置在该第1移动体且该读头与该标尺中的另一方配置在该第2移动体的第1编码器系统，根据接收透过该标尺后的该测量光束的该读头的输出求出该第1移动体与该第2移动体间的相对位置信息；

第2测量系，求出与该相对位置信息不同的该第2移动体的位置信息；以及

位置控制系，根据该第1及第2测量系的输出，进行该第1移动体的位置控制。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该第2测量系，求出相对于在与该第1及第2移动体不同的构件设置的构件的该第2移动体的位置信息。

3.一种曝光装置，其具备：

既定物体被保持在该第1移动体的权利要求1或2所述的移动体装置；以及

一边将保持既定图案的图案保持体与该第1移动体同步驱动于该第2方向，一边使用能量束透过该图案保持体于该物体形成该图案的图案形成装置。

4.如权利要求3所述的曝光装置，其中，该物体是用于平板显示器的基板。

5.如权利要求4所述的曝光装置，其中，该基板至少一边的长度或对角长为500mm以上。

6.一种平板显示器的制造方法，其包含：

使用权利要求4或5所述的曝光装置使该物体曝光；以及

使曝光后的该物体显影。

7.一种组件制造方法，其包含：

使用权利要求3至5中的任一项所述的曝光装置使该物体曝光；以及

使曝光后的该物体显影。