[发明专利]移动体装置

说明书

本发明的基板载台装置(20)，具备能沿包含X轴及Y轴的平面内移动的基板保持具(34)、能沿Y轴方向与基板保持具同步移动的读头单元(60)、标尺(52)设于基板保持具且读头(66x、66y)设于读头单元并根据上述读头的输出求出于X轴及Y轴方向的基板保持具的位置信息的基板位置测量用编码器系统、求出读头单元于Y轴方向的位置信息的读头单元位置测量用编码器系统，以及根据上述基板位置测量用编码器系统及读头单元位置测量用编码器系统的输出进行基板保持具于XY平面内的位置控制的位置控制系。

本发明申请是申请日为2015年3月30日、申请号为201580027999.1(国际申请号为PCT/JP2015/07258259871)、发明名称为“移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、组件制造方法及移动体驱动方法”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明是关于移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、组件制造方法及移动体驱动方法，详言之，是关于沿既定2维平面驱动移动体的移动体装置及移动体驱动方法、包含前述移动体装置的曝光装置、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法及使用前述曝光装置的组件制造方法。

背景技术

一直以来，于制造液晶显示组件、半导体组件(集成电路等)等电子组件(微组件)的微影制程，是使用一边使光罩(photomask)或标线片(以下，统称「光罩」)与玻璃板或晶圆(以下，统称「基板」)沿既定扫描方向(scan方向)同步移动、一边将形成在光罩的图案使用能量束转印至基板上的步进扫描(stepscan)方式的曝光装置(所谓的扫描步进机(亦称扫描机))等。

作为此种曝光装置，以具备使用基板载台装置所具有的棒状反射镜(长条镜)求出曝光对象基板于水平面内的位置信息的光干涉仪计系统者广为人知(例如，参照专利文献1)。

此处，使用光干涉仪系统求出基板的位置信息的情形时，无法忽视所谓空气波动的影响。此外，上述空气波动的影响虽能藉由编码器系统的使用加以降减，但因近年来基板的大型化，欲准备一能涵盖基板全移动范围的标尺是非常困难的。

现有技术文献

[专利文献1]美国专利申请公开第2010/0018950号说明书

发明内容

用来解决课题的手段

本发明有鉴于上述情事而生，其第1观点是一种移动体装置，其具备：可沿着包含彼此正交的第1及第2方向的既定2维平面移动的第1移动体；可沿该第1方向与该第1移动体同步移动；第1测量系，包含标尺及读头中的一方设置在该第1移动体且该标尺与该读头中的另一方设置在该第2移动体的第1编码器系统，根据该读头的输出求出至少于该第2方向的该第1移动体的位置信息的第2移动体；用来求出该第2移动体于该第1方向的位置信息的第2测量系；以及根据该第1及第2测量系的输出，进行该第1移动体于该2维平面内的位置控制的位置控制系。

此处，本说明书中，所谓「同步移动」，是指第1及第2移动体在大致维持相对位置关系的状态下移动之意，并不限于位置(移动方向及速度)必须是在严密一致的状态下移动的情形。

据此，第1移动体于第2方向的位置信息可以第1编码器系统加以求出。此处，由于第2移动体是与第1移动体同步往第1方向移动，因此第1编码器系统可与第1移动体于第1方向的位置无关地求出该第1移动体于第2方向的位置信息。而且，第1移动体于第1方向的位置信息可根据第2测量系的输出加以求出。如以上所述，第1编码器系统仅需涵盖第1移动体于第2方向的移动范围即可，效率佳。

本发明第2观点是一种曝光装置，其具备：既定物体被保持在该第1移动体的本发明第1观点的移动体装置；以及一边将保持既定图案的图案保持体与该第1移动体同步驱动于该第2方向、一边使用能量束透过该图案保持体于该物体形成该图案的图案形成装置。