[发明专利]一种石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统及方法

权利要求书

1.一种石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体内部依次设置有能够进行碳化反应的碳化舱、能够进行石墨化反应的石墨化舱和过渡舱；

对所述碳化舱和所述石墨化舱抽真空处理的抽真空机构；

设置在所述过渡舱用于隔绝密封所述碳化舱和所述石墨化舱的密封隔绝机构；

位于所述壳体内部，并能够承载待处理件的承载转移机构；以及

设置在所述壳体的一端，并能够将所述承载转移机构从碳化舱推入至石墨化舱的推进机构。

2.如权利要求1所述的石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统，其特征在于，所述碳化舱包括碳化加热室、与所述碳化加热室相配合的加热室门和设置在所述碳化加热室与壳体之间的保温层，所述加热室门靠近所述壳体的第一炉门。

3.如权利要求2所述的石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统，其特征在于，所述石墨化舱包括石墨化坩埚、与所述石墨化坩埚相配合的坩埚盖、以及设置在所述石墨化坩埚上的感应线圈，所述坩埚盖靠近所述壳体的第二炉门。

4.如权利要求1所述的石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统，其特征在于，所述密封隔绝机构包括第一插板阀和第二插板阀，所述第一插板阀能够封闭所述碳化舱靠近所述过渡舱的一端，所述第二插板阀能够封闭所述石墨化舱靠近所述过渡舱的一端。

5.如权利要求4所述的石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统，其特征在于，所述密封隔绝机构还包括设置在所述第一插板阀和所述第二插板阀之间的第三插板阀。

6.如权利要求1至5中任一项所述的石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统，其特征在于，所述碳化舱、所述石墨化舱和所述过渡舱的底面在同一水平面上。

7.如权利要求1至5中任一项所述的石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统，其特征在于，所述承载转移机构为石墨小车。

8.如权利要求1至5中任一项所述的石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统，其特征在于，所述推进机构为气动顶杆。

9.一种石墨导热膜碳化和石墨化连续生产方法，其特征在于，应用如权利要求1至8中任一项所述的石墨导热膜碳化和石墨化连续生产系统，所述方法包括：

将待处理件放置在位于碳化舱的所述承载转移机构上；

所述密封隔绝机构封闭所述碳化舱，抽真空处理后对所述待处理件进行碳化处理；

碳化处理结束后，对所述石墨化舱真空处理；

所述密封隔绝机构开启，所述推进机构将承载待处理件的所述承载转移机构推入至所述石墨化舱中；

所述密封隔绝机构封闭所述石墨化舱，对所述待处理件进行石墨化处理；

石墨化处理结束后出舱。