[发明专利]力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法有效
申请号: | 201810955629.X | 申请日: | 2018-08-21 |
公开(公告)号: | CN109060208B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 马超;苏宇峰;伍青峰;许进;韩丰明;黄世花 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/26 | 分类号: | G01L1/26 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 黄灿;曹娜 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 力学 检测 设备 采用 方法 | ||
1.一种力学检测设备,其特征在于,包括:
承载体,所述承载体上配置有至少两个检测标记,且所述至少两个检测标记的中心点位于沿第一方向的直线上;
设置于所述承载体上的第一力学检测仪,通过第一连接轴能够与第一待检测施力元件相连接,用于检测所述第一待检测施力元件对所述第一连接轴所施加的沿所述第一连接轴的轴向方向上的作用力;其中所述第一连接轴的轴心上设置有通孔,所述第一连接轴的轴向方向平行于所述第一方向;其中所述第一待检测施力元件为用于对金属掩膜板进行拉伸的抓取件,或者为用于对和金属掩模板相组装的支撑框架进行压缩的抵压件;其中所述第一待检测施力元件的施力中心点上设置有对位标记;
设置于所述承载体上的光发射仪,能够通过所述第一连接轴上的通孔朝所述第一待检测施力元件发射光束;
图像采集元件,位于所述承载体的上方,用于获取包括至少两个所述检测标记的图像信息。
2.根据权利要求1所述的力学检测设备,其特征在于,所述力学检测设备还包括:
处理器,用于根据所述图像信息,获取所述至少两个检测标记的中心点相对于预设坐标原点的相对位置坐标,根据所述相对位置坐标发出位置调整信号;
坐标调节装置,所述承载体设置于所述坐标调节装置上,所述坐标调节装置被配置为能够获取所述位置调整信号,根据所述位置调整信号调节所述承载体的位置,使所述至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上,且每一所述检测标记的中心点相对于所述预设坐标原点分别位于预设坐标位置。
3.根据权利要求1所述的力学检测设备,其特征在于,所述力学检测设备还包括:
设置于所述承载体上的第二力学检测仪,通过第二连接轴能够与第二待检测施力元件相连接,用于检测所述第二待检测施力元件对所述第二连接轴所施加的沿所述第二连接轴的轴向方向上的作用力;其中所述第二连接轴的轴心上设置有通孔,所述第二连接轴的轴向方向平行于所述第一方向;
其中,所述光发射仪还能够通过所述第二连接轴上的通孔朝所述第二待检测施力元件发射光束。
4.根据权利要求3所述的力学检测设备,其特征在于,所述第一力学检测仪和所述第二力学检测仪位于所述光发射仪的两侧,且所述第一连接轴的轴心线与所述第二连接轴的轴心线位于同一直线上。
5.根据权利要求4所述的力学检测设备,其特征在于,所述第一力学检测仪用于检测所述第一待检测施力元件对所述第一连接轴所施加的沿所述第一连接轴的轴向方向上的拉力,所述第二力学检测仪用于检测所述第二待检测施力元件对所述第二连接轴所施加的沿所述第二连接轴的轴向方向上的推力。
6.根据权利要求5所述的力学检测设备,其特征在于,所述承载体包括用于容置所述第一力学检测仪的至少一部分的第一壳体,以及包括用于容置所述第二力学检测仪的至少一部分的第二壳体;其中所述至少两个检测标记中的第一检测标记设置于所述第一壳体上,所述至少两个检测标记中的第二检测标记设置于所述第二壳体上。
7.根据权利要求5所述的力学检测设备,其特征在于,所述承载体包括:
承载板,包括承载平面,其中所述第一力学检测仪、所述第二力学检测仪和所述光发射仪均设置于所述承载平面上,所述承载板背离所述承载平面的表面被配置为能够放置于一承载台上;
与所述承载板连接的阻挡板,其中所述阻挡板与所述承载板的其中一边缘连接,且相对于所述承载板朝远离所述承载平面的方向弯折预设角度;
其中,所述第二力学检测仪至所述第一力学检测仪的方向为远离所述边缘的方向。
8.根据权利要求1所述的力学检测设备,其特征在于,所述承载体包括:
可拆卸连接的第一承载板和第二承载板,其中所述第一承载板设置于所述第二承载板上,所述第一力学检测仪和所述光发射仪均设置于所述第一承载板远离所述第二承载板的表面上。
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