[发明专利]力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法有效
申请号: | 201810955629.X | 申请日: | 2018-08-21 |
公开(公告)号: | CN109060208B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 马超;苏宇峰;伍青峰;许进;韩丰明;黄世花 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/26 | 分类号: | G01L1/26 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 黄灿;曹娜 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 力学 检测 设备 采用 方法 | ||
本发明提供一种力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法。该设备包括:承载体,配置有至少两个检测标记,至少两个检测标记的中心点位于沿第一方向的直线上;第一力学检测仪,通过第一连接轴能够与第一待检测施力元件相连接,用于检测所述第一待检测施力元件对所述第一连接轴所施加的沿所述第一连接轴的轴向方向上的作用力;其中第一连接轴的轴心上设置有通孔,所述第一连接轴的轴向方向平行于所述第一方向;光发射仪,能够通过第一连接轴上的通孔朝所述第一待检测施力元件发射光束;图像采集元件,用于获取包括至少两个所述检测标记的图像信息。该设备能够保证用于校准的标准力学推拉计的受力中心与施力元件的施力中心位于同一水平直线。
技术领域
本发明涉及检测技术领域,尤其是指一种力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法。
背景技术
在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示器(又称为有机电激光显示器)的制造过程中,采用掩膜板进行材料蒸镀为必不可少的工艺过程。掩膜板在制作时,如图1所示,需要通过抓取件1对金属掩膜板2进行相对拉伸,同时通过抵压件3对支撑框架4进行预压变形,以适应金属掩膜板2安装于支撑框架4上时由于张网拉力造成的内缩,只有抓取件1对金属掩膜板2的拉伸力与抵压件3对支撑框架4的抵压力两者之间准确配合,才能够保证张网的精度。
一般而言,为保证足够的张网精度,抓取件1的拉力精度需控制在±0.1N;抵压件3和压力精度需控制在±0.3N。现有技术为保证抓取件1和抵压件3能够达到上述施力精度,通常采用标准力学推拉计进行校准。
上述利用标准力学推拉计对抓取件1和抵压件3的施力精度进行校准的过程,需要保证标准力学推拉计的受力中心与抓取件1和抵压件3的施力中心分别位于同一水平直线,然而现有技术的校准方式却很难满足该一要求。
发明内容
本发明技术方案的目的是提供一种力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法,用于解决现有技术对施力元件的施力精度进行校准时,很难保证用于校准的标准力学推拉计的受力中心与施力元件的施力中心位于同一水平直线的问题。
本发明实施例提供一种力学检测设备,其中,包括:
承载体,所述承载体上配置有至少两个检测标记,且所述至少两个检测标记的中心点位于沿第一方向的直线上;
设置于所述承载体上的第一力学检测仪,通过第一连接轴能够与第一待检测施力元件相连接,用于检测所述第一待检测施力元件对所述第一连接轴所施加的沿所述第一连接轴的轴向方向上的作用力;其中所述第一连接轴的轴心上设置有通孔,所述第一连接轴的轴向方向平行于所述第一方向;
设置于所述承载体上的光发射仪,能够通过所述第一连接轴上的通孔朝所述第一待检测施力元件发射光束;
图像采集元件,位于所述承载体的上方,用于获取包括至少两个所述检测标记的图像信息。
可选地,所述的力学检测设备,其中,所述力学检测设备还包括:
处理器,用于根据所述图像信息,获取所述至少两个检测标记的中心点相对于预设坐标原点的相对位置坐标,根据所述相对位置坐标发出位置调整信号;
坐标调节装置,所述承载体设置于所述坐标调节装置上,所述坐标调节装置被配置为能够获取所述位置调整信号,根据所述位置调整信号调节所述承载体的位置,使所述至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上,且每一所述检测标记的中心点相对于所述预设坐标原点分别位于预设坐标位置。
可选地,所述的力学检测设备,其中,所述力学检测设备还包括:
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