[发明专利]辉光放电系统、其离子引出构造及辉光放电质谱装置

权利要求书

1.一种辉光放电系统的离子引出构造，该辉光放电系统用在辉光放电质谱装置中，该辉光放电系统具有导电性的单元主体和导电性的提取板，所述单元主体形成放电区域，所述提取板至少隔着绝缘构件与所述单元主体连接，并且具有离子引出口，该辉光放电系统的离子引出构造的特征在于，

所述提取板包括在外周缘处彼此连接在一起的第1板和第2板，

所述第1板配置在所述放电区域侧，具有自所述离子引出口朝向所述放电区域呈筒状突出的突出部，

所述第1板和所述第2板中的任一者在所述外周缘处朝向另一者突出，在除所述外周缘以外的区域，所述第1板和所述第2板彼此隔着间隙地配置。

2.根据权利要求1所述的辉光放电系统的离子引出构造，其特征在于，

在所述单元主体与所述绝缘构件之间依次配置有具有狭缝的导电性的狭缝板以及具有开口部的导电性的端板，

所述端板是在具有所述开口部的平板上设有突出部的形状，所述突出部在自所述开口部向外周侧隔开了预定的距离的位置处朝向外部呈筒状突出。

3.一种辉光放电系统，其特征在于，

该辉光放电系统具有权利要求1或2所述的辉光放电系统的离子引出构造。

4.一种辉光放电质谱装置，其包括辉光放电系统和质谱仪，该辉光放电系统用于通过辉光放电而自固体试样引出该固体试样的构成原子的离子束，所述质谱仪用于进行所述离子束中含有的离子的质谱分析，该辉光放电质谱装置的特征在于，

所述辉光放电系统是权利要求3所述的辉光放电系统。

5.根据权利要求4所述的辉光放电质谱装置，其特征在于，

该辉光放电质谱装置还具有磁场系统和电场系统，该磁场系统用于从自所述辉光放电系统引出的所述离子束中分离并选择目标离子，所述电场系统用于汇聚在所述磁场系统中选出的离子束的能量。