[发明专利]一种CMP离散数据曲面重构方法及装置

权利要求书

1.一种CMP离散数据曲面重构方法，其特征在于，包括：

根据获得的初始CMP离散数据，生成所述离散数据重构的初始计算网格，并确定坐标平面；

对所述坐标平面确定的构造点的邻域和外围区域进行初始赋值，获得所述构造点的初始函数值；

依据所述离散数据的基准点的坐标位置和所述构造点的初始函数值，对所述离散数据进行连续延拓和修正处理，获得所述离散数据对应的初始重构二维曲面；

对所述初始重构二维曲面进行光滑处理，获得光滑重构曲面；

对所述光滑重构曲面进行插值处理，获得初始目标曲面；

采用直角坐标表示所述初始目标曲面，获得所述离散数据对应的目标重构曲面。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据获得的初始CMP离散数据，生成所述离散数据重构的初始计算网格，并确定坐标平面，包括：

将预设的晶圆圆心作为极坐标原点，建立极坐标系；

将所述离散数据确定为基准点，并根据所述基准点确定构造点；

在所述极坐标系上确定基准点的坐标位置和所述构造点的坐标位置，并确定坐标平面。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对所述坐标平面确定的构造点的邻域和外围区域进行初始赋值，获得所述构造点的初始函数值，包括：

将所有所述基准点分别作为中心画圆，确定出圆心距离间最短的路径；

根据所述最短路径确定圆域；

在所述圆域内以所述基准点为邻域对所述构造点进行函数赋值；

对所述圆域以外的构造点，根据所述基准点的加权平均值，对所述构造点进行函数赋值；

根据所述函数赋值，确定所述构造点的初始函数值。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述依据所述离散数据的基准点的坐标位置和所述构造点的初始函数值，对所述离散数据进行连续延拓和修正处理，获得所述离散数据对应的初始重构二维曲面，包括：

根据所述基准点的坐标和所述构造点的初始函数值，计算获得所述构造点与所述基准点之间的距离值；

根据所述距离值，判断所述基准点的函数值与所述构造点的函数值是否满足预设条件，其中，所述预设条件包括李普西兹条件；

如果否，则对所述构造点的初始函数值进行更新，获得更新后的所述构造点的函数值；

对更新后的所述构造点的函数值进行修正处理，直至所述构造点的函数值满足所述预设条件；

对修正后的构造点的函数值进行周期性处理，获得所述离散数据对应的初始重构二维曲面。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述对所述初始重构二维曲面进行光滑处理，获得光滑重构曲面，包括：

根据所述初始重构二维曲面中的构造点，计算获得所述构造点的一阶偏导数；

对所述一阶偏导数，采用一阶函数近似处理，获得更新后的构造点函数值，直至所述更新后的构造点函数值满足预设数值；

根据所述更新后的构造点函数值，获得光滑重构曲面。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述对所述光滑重构曲面进行插值处理，获得初始目标曲面，包括：

对所述光滑重构曲面对应的构造点进行插值运算，获得所有加细网格的插值函数值；

根据所述插值函数值对所述光滑重构曲面进行插值处理，获得初始目标曲面。