[发明专利]自动化抛光装置及其工作方法

权利要求书

1.一种自动化抛光装置，其特征在于，包括：

基座，用于承载靶材；

位于基座上的抛光头，用于沿第一方向抛光所述靶材，所述抛光头沿第一方向对靶材一次抛光第一宽度，所述抛光头还可沿第二方向运动，所述第二方向与第一方向相互垂直；

当抛光头沿第一方向对靶材抛光结束时，发射单元，使抛光头沿第二方向运动第一距离，所述第一距离小于或者等于第一宽度。

2.如权利要求1所述的自动化抛光装置，其特征在于，还包括：导向杆，所述导向杆包括第一端和第二端，所述第一端与抛光头固定连接；与第二端固定连接的连接部，所述导向杆可沿连接部旋转；可动连接于连接部的支架，连接部可沿支架往复运动；与支架固定连接的底座。

3.如权利要求2所述的自动化抛光装置，其特征在于，还包括：设置于导向杆第一端两侧的旋转结构，用于使导向杆沿连接部旋转；设置于导向杆第一端和抛光头之间的吸盘结构，用于吸附靶材。

4.如权利要求2所述的自动化抛光装置，其特征在于，还包括：设置于导向杆上的重力装置，用于控制抛光头对靶材的抛光深度；速度控制单元，用于控制抛光头沿第一方向或第二方向上的运动速度。

5.如权利要求1所述的自动化抛光装置，其特征在于，还包括：检测单元，用于获取抛光头的位置信息；判断单元，根据所述位置信息，判断所述抛光头沿第一方向对靶材是否抛光结束。

6.一种如权利要求1至权利要求5任一项所述的自动化抛光装置的工作方法，其特征在于，包括：

提供靶材；

提供权利要求1至权利要求5任一项所述自动化抛光装置；

将所述靶材置于基座上；

将所述靶材置于基座上之后，使抛光头沿第一方向对靶材进行抛光；

当所述抛光头沿第一方向对靶材抛光结束时，抛光头沿第二方向运动所述第一距离。

7.如权利要求6所述的自动化抛光装置的工作方法，其特征在于，所述基座包括承载面，所述承载面用于承载靶材；所述自动化抛光装置还包括：导向杆，所述导向杆包括第一端和第二端，所述第一端与抛光头固定连接；与第二端固定连接的连接部，所述导向杆可沿连接部旋转；可动连接于连接部的支架，连接部可沿支架往复运动；设置于导向杆上的重力装置；将所述靶材置于基座上之后，使抛光头沿第一方向对靶材进行抛光之前，还包括：通过重力装置在导向杆上施加压力；所述连接部沿支架运动，使导向杆与承载面具有夹角。

8.如权利要求6所述的自动化抛光装置的工作方法，其特征在于，所述靶材包括抛光面，所述靶材沿第一方向包括第三端和第四端；对整个抛光面进行一次全面抛光包括若干次抛光工艺，所述抛光工艺的方法包括：所述抛光头沿第一方向由第三端抛光至第四端；或者，所述抛光头沿第一方向由第四端抛光至第三端。

9.如权利要求8所述的自动化抛光装置的工作方法，其特征在于，一次抛光工艺对靶材抛光的第一宽度为：250毫米～350毫米。

10.如权利要求9所述的自动化抛光装置的工作方法，其特征在于，所述第一距离为：200毫米～300毫米。

11.如权利要求10所述的自动化抛光装置的工作方法，其特征在于，所述靶材沿第一方向上的尺寸为：1200毫米～2300毫米；所述靶材沿第二方向上的尺寸为：1130毫米～1800毫米；对整个抛光面进行一次全面抛光所需抛光工艺的次数为：6次～10次。

12.如权利要求8所述的自动化抛光装置的工作方法，其特征在于，还包括：对整个抛光面进行若干次全面抛光；所述全面抛光的次数为15次～20次。

13.如权利要求6所述的自动化抛光装置的工作方法，其特征在于，自动化抛光装置还包括速度控制单元，所述速度控制单元使抛光头沿第一方向上的运动速度为：100毫米/秒～120毫米/秒；所述速度控制单元使抛光头沿第二方向上的运动速度为：100毫米/秒～120毫米/秒。