[发明专利]自动化抛光装置及其工作方法在审

专利信息
申请号: 201810965531.2 申请日: 2018-08-23
公开(公告)号: CN110856905A 公开(公告)日: 2020-03-03
发明(设计)人: 姚力军;潘杰;王学泽;丁向前 申请(专利权)人: 合肥江丰电子材料有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B41/02;B24B41/00;B24B1/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 徐文欣;吴敏
地址: 237400 安徽省*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 自动化 抛光 装置 及其 工作 方法
【说明书】:

一种自动化抛光装置及其工作方法,其中,自动化抛光装置包括:基座,用于承载靶材;位于基座上的抛光头,用于沿第一方向抛光所述靶材,所述抛光头沿第一方向对靶材一次抛光第一宽度,所述抛光头还可沿第二方向运动,所述第二方向与第一方向相互垂直;当抛光头沿第一方向对靶材抛光结束时,发射单元,使抛光头沿第二方向运动第一距离,所述第一距离小于或者等于第一宽度。利用所述自动化抛光装置能够实现对大尺寸靶材表面的抛光,且抛光程度一致性较高。

技术领域

发明涉及机械领域,尤其涉及一种自动化抛光装置及其工作方法。

背景技术

打磨抛光工艺是靶材表面加工的常用工艺,其采用砂纸摩擦靶材的表面,以提高靶材表面的平整度。

一种对靶材表面进行抛光方法包括:操作人员手持砂纸对靶材表面进行抛光。然而,对靶材的抛光需要较长的时间,使得操作人员的劳动强度较大;而且,在抛光的过程中,操作人员需要向砂纸施加适当的力,以增加砂纸和靶材之间的摩擦力,提高抛光效果和效率,但基于体力劳动强度较大,难以在整个车床抛光过程中维持稳定的力,使得抛光效果较差。

为了降低劳动强度和抛光的效果,提出了一种自动化抛光装置,然而,现有的自动化抛光装置难以对大尺寸的靶材进行抛光。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种自动化抛光装置,以实现对大尺寸靶材的抛光。

为解决上述技术问题,本发明提供一种自动化抛光装置,包括:基座,用于承载靶;位于基座上的抛光头,用于沿第一方向抛光所述靶材,所述抛光头沿第一方向对靶材一次抛光第一宽度,所述抛光头还可沿第二方向运动,所述第二方向与第一方向相互垂直;当抛光头沿第一方向对靶材抛光结束时,发射单元,使抛光头沿第二方向运动第一距离,所述第一距离小于或者等于第一宽度。

可选的,所述抛光头包括:还包括:导向杆,所述导向杆包括第一端和第二端,所述第一端与抛光头固定连接;与第二端固定连接的连接部,所述导向杆可沿连接部旋转;可动连接于连接部的支架,使连接部可沿支架可往复运动;与支架固定连接的底座。

可选的,还包括:设置于导向杆第一端两侧的旋转结构,用于使导向杆沿连接部旋转;设置于导向杆第一端和抛光头之间的吸盘结构,用于吸附靶材。

可选的,还包括:设置于导向杆上的重力装置,用于控制抛光头对靶材的抛光深度;速度控制单元,用于控制抛光头沿第一方向或第二方向上的运动速度。

可选的,还包括:检测单元,用于获取抛光头的位置信息;判断单元,根据所述位置信息,判断所述抛光头沿第一方向对靶材是否抛光结束。

相应的,本发明还提供一种自动化抛光装置的工作方法,包括:提供靶材;提供上述自动化抛光装置;将所述靶材置于承载面上;将所述靶材置于承载面上之后,使抛光头沿第一方向对靶材进行抛光;当所述抛光头沿第一方向对靶材抛光结束时,抛光头沿第二方向运动所述第一距离。

可选的,所述基座包括承载面,所述承载面用于承载靶材;所述自动化抛光装置还包括:导向杆,所述导向杆包括第一端和第二端,所述第一端与抛光头固定连接;与第二端固定连接的连接部,所述导向杆可沿连接部旋转;可动连接于连接部的支架,连接部可沿支架往复运动;设置于导向杆上的重力装置;将所述靶材置于基座上之后,使抛光头沿第一方向对靶材进行抛光之前,还包括:通过重力装置在导向杆上施加重力;所述连接部沿支架运动,使导向杆与承载面具有夹角。

可选的,所述靶材包括抛光面,所述靶材沿第一方向包括第三端和第四端;对整个抛光面进行一次全面抛光包括若干次抛光工艺,所述抛光工艺的方法包括:所述抛光头沿第一方向由第三端抛光至第四端;或者,所述抛光头沿第一方向由第四端抛光至第三端。

可选的,一次抛光工艺对靶材抛光的第一宽度为:250毫米~350毫米。

可选的,第一距离为:200毫米~300毫米。

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