[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)预制一酸性蚀刻液循环再生系统，其包括一废液桶、一再生液桶、一离子膜电解循环装置与一再生液调配监控装置，其中，该废液桶分别连接至离子膜电解循环装置与至少一蚀刻生产线，该再生液桶分别连接至离子膜电解循环装置与再生液调配监控装置，该再生液调配监控装置连接至至少一蚀刻生产线，以形成闭路循环系统；

(2)由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废液桶中，废液桶中的蚀刻废液通过自动检测添加方式添加至离子膜电解循环装置中；

(3)由离子膜电解循环装置对蚀刻废液进行电解产生再生液与单质铜，再生液储存于再生液桶中，单质铜由铜板的形式移出；

(4)分别将氧化剂、盐酸、及储存于再生液桶中的再生液加入到再生液调配监控装置中，由再生液调配监控装置中的若干检测仪对再生液进行检测调配，使再生液的氧化还原电位范围在480-520mv之间，铜浓度在30-60g/L范围内，再将再生液回流至蚀刻生产线中使用。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，在所述步骤(2)中，具体包括以下步骤：

(2.1)由ORP监控仪实时取样检测蚀刻生产线内蚀刻液的氧化还原电位值，若氧化还原电位值在480－520mv范围内，则不断重复该步骤，并执行步骤(2.2)，否则，废液桶中的蚀刻废液自动添加到离子膜电解循环装置中；

(2.2)由比重检测仪实时取样检测蚀刻生产线内蚀刻液的铜浓度，若铜浓度在30～60g/L范围内时，则不断重复该步骤，否则，废液桶中的蚀刻废液自动添加到离子膜电解循环装置中。

3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，在所述步骤(3)中，具体电解过程包括以下步骤：

(3.1)氧化还原电位值低的蚀刻废液，从离子膜电解循环装置的阳极室低位进入，在电解作用下，蚀刻废液中的一价铜离子在阳极失去电子氧化成二价铜离子，二价铜离子增加，一价铜离子减少或消除，获得氧化还原电位值高的再生液，再生液由阳极室高位流出，并储存于再生液桶中；

(3.2)高含铜量的蚀刻废液从离子膜电解循环装置的阴极室低位进入，在电解作用下，铜离子在阴极被还原成铜单质从而降低铜离子浓度，降低铜离子浓度含量后的再生液从阴极室高位流出，并储存于再生液桶中；

步骤(3.1)与步骤(3.2)无先后顺序。

4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，在所述步骤(1)中，所述酸性蚀刻液循环再生系统还包括连接于再生液调配监控装置的一酸雾吸收子系统，该酸雾吸收子系统包括并排设置的若干酸雾吸收装置。

5.根据权利要求4所述的酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，还包括以下步骤：

(5)在离子膜电解循环装置内电解产生的氯气依次进入再生液桶与再生液调配监控装置，并有60-80％氯气与再生液一同进入蚀刻生产线中，剩下的20-40％氯气进入酸雾吸收子系统中，进入酸雾吸收子系统中的氯气首先与溶液混合反应产生酸雾，接着酸雾采用射流的方式与酸雾吸收装置内的铁物质接触反应，以吸收处理酸雾。

6.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液循环再生方法，其特征在于，在所述步骤(4)中，所述若干检测仪包括比重检测仪、ORP监控仪、酸度计与流量计。

7.实施权利要求1至6中任一所述方法的酸性蚀刻液循环再生系统，其特征在于，其包括一废液桶、一再生液桶、一离子膜电解循环装置与一再生液调配监控装置，其中，该废液桶分别连接至离子膜电解循环装置与至少一蚀刻生产线，该再生液桶分别连接至离子膜电解循环装置与再生液调配监控装置，该再生液调配监控装置连接至至少一蚀刻生产线，以形成闭路循环系统。