[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法在审

专利信息
申请号: 201810972330.5 申请日: 2018-08-24
公开(公告)号: CN109023374A 公开(公告)日: 2018-12-18
发明(设计)人: 罗万里 申请(专利权)人: 德雅(深圳)环境科技有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C25C1/12;C25C7/04;C25C7/06;C25C7/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 再生液 酸性蚀刻液 循环再生系统 蚀刻废液 蚀刻 离子膜电解 调配 监控装置 循环装置 再生液桶 单质铜 废液桶 储存 氧化还原电位 氧化剂 再生液回流 循环再生 自动检测 检测仪 铜板 电解 盐酸 移出 预制 检测
【说明书】:

发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生方法,包括以下步骤:(1)预制酸性蚀刻液循环再生系统;(2)由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废液桶中,废液桶中的蚀刻废液通过自动检测添加方式添加至离子膜电解循环装置中;(3)由离子膜电解循环装置对蚀刻废液进行电解产生再生液与单质铜,再生液储存于再生液桶中,单质铜由铜板的形式移出;(4)分别将氧化剂、盐酸、及储存于再生液桶中的再生液加入到再生液调配监控装置中,由再生液调配监控装置中的若干检测仪对再生液进行检测调配,使再生液的氧化还原电位范围在480‑520mv之间,铜浓度在30‑60g/L范围内,再将再生液回流至蚀刻生产线中使用。本发明还公开了实施上述方法的酸性蚀刻液循环再生系统。

技术领域

本发明涉及蚀刻技术领域,尤其涉及一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法。

背景技术

近20年来,中国的PCB行业一直保持10-00%的年增长速度,目前有多种规模的PCB企业3500多家,月产量达到1.2亿平方米。蚀刻是PCB生产中耗药水量较大的工序,也是产生废液和废水最大的工序,一般而言,每生产一平方米正常厚度(18μm)的双面板消耗蚀刻液约2-3升,并产生废蚀刻液2-3升。我国PCB行业每月消耗精铜6万吨/月以上,产出的铜蚀刻废液中总铜量在5万吨/月以上,对社会尤其是PCB厂周边地区的水资源和土壤造成了严重污染。

铜是一种存在于土壤及人畜体内的重金属元素,土壤中含量一般在0.2ppm左右,过量的铜会与人畜体内的酶发生沉淀/络合反应,发生酶中毒而丧失生理功能。自然界中的铜通过水体、植物等转移至人畜体内,使人畜体内的微量元素平衡遭到破坏,导致重金属在体内的不正常积累,产生致病变性、致癌性等结果。

因此,市面上已出现了废蚀刻液循环再生利用的相关技术,然而,目前的技术,依然有废液排放的现象,无法做到完全回收再利用,零排放的效果。

发明内容

针对上述不足,本发明的目的在于提供一种酸性蚀刻液循环再生系统及其方法,达到使已失效的酸性蚀刻液再生并循环使用、零排放的目的,自动化程度高,工艺处理量大,稳定性好,安全方便。

本发明为达到上述目的所采用的技术方案是:

一种酸性蚀刻液循环再生方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)预制一酸性蚀刻液循环再生系统,其包括一废液桶、一再生液桶、一离子膜电解循环装置与一再生液调配监控装置,其中,该废液桶分别连接至离子膜电解循环装置与至少一蚀刻生产线,该再生液桶分别连接至离子膜电解循环装置与再生液调配监控装置,该再生液调配监控装置连接至至少一蚀刻生产线,以形成闭路循环系统;

(2)由蚀刻生产线产生的蚀刻废液储存于废液桶中,废液桶中的蚀刻废液通过自动检测添加方式添加至离子膜电解循环装置中;

(3)由离子膜电解循环装置对蚀刻废液进行电解产生再生液与单质铜,再生液储存于再生液桶中,单质铜由铜板的形式移出;

(4)分别将氧化剂、盐酸、及储存于再生液桶中的再生液加入到再生液调配监控装置中,由再生液调配监控装置中的若干检测仪对再生液进行检测调配,使再生液的氧化还原电位范围在480-520mv之间,铜浓度在30-60g/L范围内,再将再生液回流至蚀刻生产线中使用。

作为本发明的进一步改进,在所述步骤(2)中,具体包括以下步骤:

(2.1)由ORP监控仪实时取样检测蚀刻生产线内蚀刻液的氧化还原电位值,若氧化还原电位值在480-520mv范围内,则不断重复该步骤,并执行步骤(2.2),否则,废液桶中的蚀刻废液自动添加到离子膜电解循环装置中;

(2.2)由比重检测仪实时取样检测蚀刻生产线内蚀刻液的铜浓度,若铜浓度在30~60g/L范围内时,则不断重复该步骤,否则,废液桶中的蚀刻废液自动添加到离子膜电解循环装置中。

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