[发明专利]Micro LED转移方法及显示面板、显示装置有效

专利信息
申请号: 201810972545.7 申请日: 2018-08-24
公开(公告)号: CN109148506B 公开(公告)日: 2021-04-13
发明(设计)人: 何泽尚;邢亮;符鞠建;刘刚 申请(专利权)人: 上海天马微电子有限公司
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15
代理公司: 北京允天律师事务所 11697 代理人: 李春晖
地址: 201201 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: micro led 转移 方法 显示 面板 显示装置
【说明书】:

本申请公开一种Micro LED转移方法及Micro LED显示面板和Micro LED显示装置,所述Micro LED显示面板包括衬底基板、像素定义层,像素定义层包括开口,位于开口内层叠设置的第一导电层、光敏导电键合层和Micro LED结构。所述光敏导电键合层具有光照后固化,使得粘接在光敏导电键合层相对两个表面的结构能够键合在一起,由于光敏导电键合层的存在,能够在Micro LED转移过程中实现Micro LED的检测,而不是在键合完成后,再进行后续检测,从而节省了去除已经键合的不正常显示Micro LED的步骤,使得Micro LED检测和修复工艺简单化。

技术领域

发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种Micro LED(Micro Light EmittingDiode,微型发光二极管或微发光二极管)转移方法及Micro LED显示面板和Micro LED显示装置。

背景技术

Micro LED发展成未来显示技术的热点之一,Micro LED显示器所采用LED尺寸为微米等级,具有画素的独立控制、独立发光控制、高辉度、低耗电、超高分辨率和高色彩度等特点,但其技术难点多且技术复杂,特别是其关键技术:巨量转移技术。随着技术的发展,巨量转移技术发展至今已经出了不少技术分支,如静电吸附、镭射激光等。

传统巨量转移微型LED的方法是通过基板接合(Wafer Bonding)将微型元件自转移基板转移至接收基板。转移方法的其中一种实施方法为直接转移,也就是直接将微型元件阵列自转移基板接合至接收基板,之后再将转移基板移除。另一种实施方法为“间接转移”。此方法包含两次接合/剥离的步骤。在间接转移中,转置头可将位于中间承载基板上的部分微型元件阵列拾起,然后再将微型元件阵列接合至接收基板,接着再把转置头移除。

但现有技术中的直接转移或间接转移的巨量转移技术中,对Micro LED检测的工艺均是在接收基板上键合Micro LED后,通过检测电路检测,若检测出异常Micro LED,则对异常的Micro LED进行替换修复,但这使得后续检测和修复过程较为复杂。

发明内容

有鉴于此,本发明提供一种Micro LED转移方法及Micro LED显示面板和MicroLED显示装置,以解决现有技术中在接收基板上键合Micro LED后,再进行检测和修复,使得后续检测和修复工艺较为复杂的问题。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

一种Micro LED显示面板,包括:

衬底基板;

位于衬底基板表面的像素定义层,像素定义层包括多个开口;

位于开口内的第一导电层;

位于第一导电层背离衬底基板表面的光敏导电键合层;

位于光敏导电键合层背离第一导电层的Micro LED结构,Micro LED结构的至少一个电极与光敏导电键合层电性连接。

本发明还提供一种Micro LED显示装置,包括上面所述的Micro LED显示面板。

本发明还提供一种Micro LED转移方法,用于形成上面所述的Micro LED显示面板,所述Micro LED转移方法包括:

提供阵列基板、多个Micro LED结构、光敏导电键合层和转移头,阵列基板包括衬底基板、位于衬底基板上的像素定义层,像素定义层包括多个开口,以及位于开口内的第一导电层;

采用转移头拾取多个Micro LED结构;

将拾取的多个Micro LED结构通过光敏导电键合层与第一导电层结合;

给第一导电层加电信号导通Micro LED结构;

移走转移头;

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