[发明专利]Micro LED转移方法及显示面板、显示装置有效
申请号: | 201810972545.7 | 申请日: | 2018-08-24 |
公开(公告)号: | CN109148506B | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 何泽尚;邢亮;符鞠建;刘刚 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15 |
代理公司: | 北京允天律师事务所 11697 | 代理人: | 李春晖 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | micro led 转移 方法 显示 面板 显示装置 | ||
本申请公开一种Micro LED转移方法及Micro LED显示面板和Micro LED显示装置,所述Micro LED显示面板包括衬底基板、像素定义层,像素定义层包括开口,位于开口内层叠设置的第一导电层、光敏导电键合层和Micro LED结构。所述光敏导电键合层具有光照后固化,使得粘接在光敏导电键合层相对两个表面的结构能够键合在一起,由于光敏导电键合层的存在,能够在Micro LED转移过程中实现Micro LED的检测,而不是在键合完成后,再进行后续检测,从而节省了去除已经键合的不正常显示Micro LED的步骤,使得Micro LED检测和修复工艺简单化。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种Micro LED(Micro Light EmittingDiode,微型发光二极管或微发光二极管)转移方法及Micro LED显示面板和Micro LED显示装置。
背景技术
Micro LED发展成未来显示技术的热点之一,Micro LED显示器所采用LED尺寸为微米等级,具有画素的独立控制、独立发光控制、高辉度、低耗电、超高分辨率和高色彩度等特点,但其技术难点多且技术复杂,特别是其关键技术:巨量转移技术。随着技术的发展,巨量转移技术发展至今已经出了不少技术分支,如静电吸附、镭射激光等。
传统巨量转移微型LED的方法是通过基板接合(Wafer Bonding)将微型元件自转移基板转移至接收基板。转移方法的其中一种实施方法为直接转移,也就是直接将微型元件阵列自转移基板接合至接收基板,之后再将转移基板移除。另一种实施方法为“间接转移”。此方法包含两次接合/剥离的步骤。在间接转移中,转置头可将位于中间承载基板上的部分微型元件阵列拾起,然后再将微型元件阵列接合至接收基板,接着再把转置头移除。
但现有技术中的直接转移或间接转移的巨量转移技术中,对Micro LED检测的工艺均是在接收基板上键合Micro LED后,通过检测电路检测,若检测出异常Micro LED,则对异常的Micro LED进行替换修复,但这使得后续检测和修复过程较为复杂。
发明内容
有鉴于此,本发明提供一种Micro LED转移方法及Micro LED显示面板和MicroLED显示装置,以解决现有技术中在接收基板上键合Micro LED后,再进行检测和修复,使得后续检测和修复工艺较为复杂的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
一种Micro LED显示面板,包括:
衬底基板;
位于衬底基板表面的像素定义层,像素定义层包括多个开口;
位于开口内的第一导电层;
位于第一导电层背离衬底基板表面的光敏导电键合层;
位于光敏导电键合层背离第一导电层的Micro LED结构,Micro LED结构的至少一个电极与光敏导电键合层电性连接。
本发明还提供一种Micro LED显示装置,包括上面所述的Micro LED显示面板。
本发明还提供一种Micro LED转移方法,用于形成上面所述的Micro LED显示面板,所述Micro LED转移方法包括:
提供阵列基板、多个Micro LED结构、光敏导电键合层和转移头,阵列基板包括衬底基板、位于衬底基板上的像素定义层,像素定义层包括多个开口,以及位于开口内的第一导电层;
采用转移头拾取多个Micro LED结构;
将拾取的多个Micro LED结构通过光敏导电键合层与第一导电层结合;
给第一导电层加电信号导通Micro LED结构;
移走转移头;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的