[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置

权利要求书

1.一种阵列基板，包括基底、位于所述基底上的有源层和栅极，其特征在于，还包括：第一无机绝缘层、第二无机绝缘层、位于所述栅极上的辅助栅极、位于所述辅助栅极上的第三无机绝缘层、以及位于所述第三无机绝缘层上的源极和漏极；

所述阵列基板包括至少一个第一区域、至少一个第二区域和至少一个第三区域；所述第一无机绝缘层位于所述有源层上，所述第一无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第一开孔；

所述第二无机绝缘层位于所述栅极上且位于所述栅极和所述辅助栅极之间，所述第二无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第二开孔；

所述第三无机绝缘层在预设位置设置有至少两个第三开孔，其中一个所述第三开孔位置处暴露出有源层的第一掺杂区域，另一个所述第三开孔位置处暴露出有源层的第二掺杂区域；

所述源极通过其中一个所述第三开孔与所述第一掺杂区域电连接，所述漏极通过另一个所述第三开孔与所述第二掺杂区域电连接；

所述第一区域的位置与所述第一开孔和所述第二开孔的位置对应，包括位于所述基底上的第三无机绝缘层；

所述第二区域的位置与所述第一开孔的位置对应，包括位于所述基底上叠层设置的第二无机绝缘层和第三无机绝缘层；

所述第三区域的位置与所述第二开孔的位置对应，包括位于所述基底上叠层设置的第一无机绝缘层和第三无机绝缘层。

2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，部分所述第一开孔的位置与部分所述第二开孔的位置相同。

3.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一开孔的尺寸与所述第二开孔的尺寸相同。

4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一无机绝缘层、所述第二无机绝缘层和所述第三无机绝缘层的材料相同。

5.一种显示面板，其特征在于，包括权利要求1-4任一项所述的阵列基板。

6.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求5所述的显示面板。

7.一种如权利要求1-4任一项所述的阵列基板的制作方法，包括在所述基底上制作所述有源层和所述栅极的方法，其特征在于，该方法还包括：

在所述有源层上形成一层第一无机绝缘薄膜，通过构图工艺在该第一无机绝缘薄膜的预设位置处制作至少一个第一开孔，形成第一无机绝缘层；

在所述栅极上形成一层第二无机绝缘薄膜，通过构图工艺在该第二无机绝缘薄膜的预设位置处制作至少一个第二开孔，形成第二无机绝缘层；

在所述第二无机绝缘层上形成辅助栅极，所述辅助栅极位于所述栅极上；

在所述辅助栅极上形成第三无机绝缘薄膜，通过构图工艺在该第三无机绝缘薄膜的预设位置处制作至少两个第三开孔，形成第三无机绝缘层；

在所述第三无机绝缘层上形成源极和漏极。