[发明专利]阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置

说明书

本发明实施例提供了一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置，用以降低无机绝缘层的应力。该阵列基板包括基底、位于基底上的有源层和栅极，其中，还包括：第一无机绝缘层和第二无机绝缘层；第一无机绝缘层位于有源层上，第一无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第一开孔；第二无机绝缘层位于栅极上，第二无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第二开孔。第一开孔和第二开孔的设置，能够降低第一无机绝缘层和第二无机绝缘层的应力，提升可折叠产品的弯折性能，改善弯折断裂现象，进而提升产品良率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)是指利用有机半导体材料和发光材料在电场驱动下，通过载流子注入和复合导致发光的二极管。OLED发光原理是用ITO(氧化铟锡)透明电极和金属电极分别作为器件的阳极和阴极，在一定电压驱动下，电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子注入层和空穴传输层，电子和空穴分别经过电子注入层和空穴传输层迁移到发光层，并在发光层中相遇，形成激子并使发光分子激发，发光分子经过辐射弛豫而发出可见光。

OLED具有更薄更轻、主动发光(不需要背光源)、无视角问题、高清晰、高亮度、响应快速、能耗低、使用温度范围广、抗震能力强、成本低和可实现柔性显示等优点，OLED显示面板得到了越来越广泛的应用。

本申请的发明人对现有技术OLED显示面板进行研究发现，OLED显示面板包括的无机绝缘层的应力较大，多次弯折应力难以释放，容易导致OLED显示面板断折而造成产品失效。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种阵列基板及其制作方法、显示面板、显示装置，用以降低无机绝缘层的应力。

为了实现上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种阵列基板，包括基底、位于所述基底上的有源层和栅极，其中，还包括：第一无机绝缘层和第二无机绝缘层；

所述第一无机绝缘层位于所述有源层上，所述第一无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第一开孔；

所述第二无机绝缘层位于所述栅极上，所述第二无机绝缘层在预设位置设置有至少一个第二开孔。

优选地，部分所述第一开孔的位置与部分所述第二开孔的位置相同。

优选地，所述第一开孔的尺寸与所述第二开孔的尺寸相同。

优选地，阵列基板还包括位于所述栅极上的辅助栅极，所述第二无机绝缘层位于所述栅极和所述辅助栅极之间。

优选地，阵列基板还包括位于所述辅助栅极上的第三无机绝缘层，位于所述第三无机绝缘层上的源极和漏极；

所述第三无机绝缘层在预设位置设置有至少两个第三开孔，其中一个所述第三开孔位置处暴露出有源层的第一掺杂区域，另一个所述第三开孔位置处暴露出有源层的第二掺杂区域；

所述源极通过其中一个所述第三开孔与所述第一掺杂区域电连接，所述漏极通过另一个所述第三开孔与所述第二掺杂区域电连接。

优选地，所述第一无机绝缘层、所述第二无机绝缘层和所述第三无机绝缘层的材料相同。

优选地，阵列基板包括至少一个第一区域、至少一个第二区域和至少一个第三区域；

所述第一区域的位置与所述第一开孔和所述第二开孔的位置对应，包括位于所述基底上的第三无机绝缘层；

所述第二区域的位置与所述第一开孔的位置对应，包括位于所述基底上叠层设置的第二无机绝缘层和第三无机绝缘层；