[发明专利]酸性氯化铜蚀刻液铜回收再生系统及回收再生方法

权利要求书

1.一种酸性氯化铜蚀刻液铜回收再生系统，其特征在于，所述酸性氯化铜蚀刻液铜回收再生系统包括蚀刻液再生系统以及位于蚀刻液再生系统下游的废气处理系统，还包括铁水洗涤液处理系统，所述蚀刻液再生系统包括依次连接的蚀刻生产线、废液储存桶、电解槽、再生液储存桶，所述再生液储存桶的下游与蚀刻生产线连接，所述电解槽的阳极区与溶解吸收缸连通、射流装置、蚀刻生产线依次连通；

所述铁水洗涤液处理系统包括依次连接的溶铁缸、铁水吸收缸、铁水洗涤塔；其中，所述铁水洗涤液处理流程依次为：溶铁缸-铁水吸收缸-铁水洗涤塔，所述溶铁缸内含有二氯化铁、单质铁、氯化氢；所述铁水吸收缸内为含有杂质的二氯化铁；所述铁水洗涤塔内为纯净的二氯化铁；

所述蚀刻生产线上具有环境抽风管，所述环境抽风管通过管道与所述废气处理系统连接，

所述废气处理系统包括依次连接的溶解吸收缸、铁水吸收缸、铁水洗涤塔、碱液吸收塔、排气口，所述废气处理系统的上游分别与电解槽阳极区、电解槽阴极区、环境抽风管连接，所述电解槽阳极区与所述溶解吸收缸连接，所述电解槽阴极区与所述铁水洗涤塔连接，所述环境抽风管与所述碱液吸收塔连接。

2.利用权利要求1所述酸性氯化铜蚀刻液铜回收再生系统的回收再生方法，其特征在于，所述回收再生方法包括蚀刻液再生、氯气处理、铁水洗涤液处理、废气处理；所述蚀刻液再生为：将蚀刻废液，引入电解槽中作为电解液进行电解，在电解作用下，电解液进行电解时，阴极板上产生金属铜，阳极板上生成氯气，蚀刻废液中铜离子在阴极被还原为铜粉单质而使铜离子浓度降低，同时在阳极强氧化性产物氯气的氧化作用下，ORP升高，使得蚀刻废液再生达到有效蚀刻液标准，进而将再生的蚀刻液引入到蚀刻生产线上，循环使用。

3.根据权利要求2所述的回收再生方法，其特征在于，所述电解槽阴极区铜离子含量控制在30-70g/L，所述电解槽的电解电流为1000-3000A，所述电解槽阴极区电解液的铜离子质量浓度始终阳极区电解液的铜离子质量浓度。

4.根据权利要求3所述的回收再生方法，其特征在于，所述电解槽阴极区每四个小时取样分析一次铜离子含量，正常电解过程中将铜离子含量控制在30-50g/L，所述电解槽的电解电流为1800-2400A，当铜离子30g/L时，补加蚀刻废液。

5.根据权利要求2所述的回收再生方法，其特征在于：所述电解槽的内部设有电解隔膜。

6.根据权利要求2所述的回收再生方法，其特征在于，所述氯气处理为：阳极室产生的氧化性气体氯气进入溶解吸收缸，再经射流装置回用至蚀刻生产线，以此达到循环再生。

7.根据权利要求2所述的回收再生方法，其特征在于，所述铁水洗涤液处理流程依次为：溶铁缸-铁水吸收缸-铁水洗涤塔，所述溶铁缸内含有二氯化铁、单质铁、氯化氢；所述铁水吸收缸内为含有杂质的二氯化铁；所述铁水洗涤塔内为纯净的二氯化铁。

8.根据权利要求2所述的回收再生方法，其特征在于，所述废气处理流程为：电解槽阳极气体-溶解吸收缸-铁水吸收缸-铁水洗涤塔-碱液洗涤塔-排放；电解槽阴极气体-铁水吸收缸-铁水洗涤塔-碱液洗涤塔-排放；环境抽风管-碱液洗涤塔-排放。