[发明专利]化学液槽装置

权利要求书

1.一种化学液槽装置，其特征在于，包括：

槽体，用于盛放化学液以及待处理的晶圆；

三个以上的喷嘴，所述喷嘴为长条形，平行设置于所述槽体的内壁处，与晶圆放置平面垂直，用于向所述槽体内喷入化学液，所述喷嘴的喷液方向与晶圆放置平面平行；

各个喷嘴的喷液状态能够单独控制，以提高化学液分布的均一性；

所述喷嘴包括喷嘴体以及套于所述喷嘴体外部的套管；所述喷嘴体设置有出液口，所述套管具有沿长度方向设置的两组以上的喷孔，每一组内的多个喷孔朝向同一方向，不同组的喷孔朝向不同的方向，所述套管能够绕所述喷嘴体转动，以调整所述套管上的喷孔的方向。

2.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，至少一个喷嘴设置于所述槽体的底部；所述槽体的与晶圆放置平面垂直的相对两侧内壁处各设置相同数量的喷嘴。

3.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，各个喷嘴分别具有不同的喷液方向。

4.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，所述喷嘴具有沿长度方向设置的多个喷孔。

5.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，所述喷嘴包括沿长度方向设置的多个子喷嘴。

6.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，所述三个以上的喷嘴各自通过一支管路连接至总管路，各支管路上均设置有阀门。

7.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，包括7个喷嘴，其中一个设置于槽体底部，另外六个对称设置于槽体的两侧内壁处。

8.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，所述套管的端部与所述喷嘴体之间形成密封腔，用于容纳从喷嘴体内喷出的化学液。

9.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，所述喷嘴的端部设置有马达，与所述套管连接，用于控制所述套管的转动。

10.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，所述套管与所述喷嘴之间设置有旋转轴承结构，以支撑所述套管转动。

11.根据权利要求1所述的化学液槽装置，其特征在于，所述套管设置有3～8组喷孔，分别朝向不同的方向。