[发明专利]一种溅镀工艺

说明书

本发明属于溅镀加工技术领域，具体的说是一种溅镀工艺；该工艺中使用的溅镀装置包括箱体，电机和承载装置；承载装置由电机驱动，所述承载装置包括下支撑板、剪叉机构和上支撑板，所述剪叉机构由一组相互铰接的料杆组成；剪叉机构底部一端与下支撑板铰接，剪叉机构底部另一端转动连接的滚轮能够在下支撑板上的滑槽内滑动；剪叉机构顶部与上支撑板一端铰接，剪叉机构顶部与上支撑板另一端滑动连接；所述料杆包括上料杆、中料杆和下料杆，所述中料杆能够相对转动；所述一号气缸用于推动滚轮在滑槽内滑动。本发明中使用的溅镀装置通过剪叉机构和料杆配合能够在工件溅镀时转动，使得被镀工件镀膜均匀，从而提升溅镀装置的镀膜效果。

技术领域

本发明属于溅镀加工技术领域，具体的说是一种溅镀工艺。

背景技术

溅镀是一种物理气相沉积技术，溅镀原理是在真空环境下，利用辉光放电或离子束产生的高能等离子体撞击耙材，以动量转移方式将耙材内的原子从耙材上轰击出来而沉积在基板上形成薄膜。由于溅镀可以达成较佳的沉积效率、精确的成份控制，以及较低的制造成本，因此已广泛应用于工业中各种金属和非金属膜层的制作。

现有技术中也出现了一些溅镀装置的技术方案，如申请号为2010106052656的一项中国专利公开了一种溅镀装置，包括一个本体、一个承载装置及至少一个驱动齿轮装置。该本体包括一个顶板、一个底板及一个侧壁。该承载装置包括一个与底板的上轴承座转动连接的外圈承载架、一个与底板的下轴承座转动连接的内圈承载架。该外圈承载架包括多个第一料杆，多个第一料杆均匀间隔设置且排布成一个外圈，相邻两个第一料杆间具有第一间距。该内圈承载架包括多个第二料杆，每个第二料杆的直径小于该第一间距。该多个第二料杆均匀间隔设置且排布成一个位于该外圈内且与外圈同轴的内圈。该驱动齿轮装置设置于该内圈承载架与外圈承载架之间并用于驱动该多个第一料杆与该多个第二料杆同时反向转动。该溅镀装置可以放置更多的被镀工件，提高镀膜效率；但镀工件未能溅镀均匀，镀膜效果有待提升。

针对上述情况，本发明提出了一种溅镀工艺，该工艺中使用的溅镀装置在真空状态下，通过剪叉机构和料杆配合能够在工件溅镀时转动，使得被镀工件镀膜均匀，从而提升溅镀装置的镀膜效果。

发明内容

为了弥补现有技术的不足，本发明提出的一种溅镀工艺，该工艺中使用的溅镀装置通过在承载装置上放置被镀工件，箱体内为真空状态，开启电机带动下支撑板转动，从而使得剪叉机构转动，把靶材上的粒子射向剪叉机构；同时电机输出轴上连接的凸轮，转动时能够挤压一侧的一号气囊，一号气囊内的气体被挤压喷出至一号气缸的气腔内，使得一号活塞杆往复滑动，从而推动连杆两侧的滚轮在下支撑板上的滑槽内往复滑动，进而使得剪叉机构升降，被镀工件能够放置在剪叉机构的相邻料杆之间和中料杆上；当承载装置转动并升降运动时，能够使得被镀工件被溅镀的更加均匀，且溅镀效率提高；并且当剪叉机构上升运动时，下料杆与中料杆一端转动连接，上料杆受力向下通过滚珠丝杠副推动中料杆周向转动，进而使得镀膜表面更加均匀，并且适应不同镀膜要求的工件。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种溅镀工艺，该工艺步骤如下：

步骤一：将被镀工件进行清洁处理；

步骤二：将步骤一中清洁后的工件放入自动喷漆房喷涂底漆；

步骤三：将步骤二中喷涂底漆后的工件放入溅镀装置中进行镀膜处理；

步骤四：将步骤三中镀膜后的工件喷涂面漆后烘干；