[发明专利]喷嘴和化学液槽装置

权利要求书

1.一种喷嘴，用于设置于对晶圆进行处理的化学液槽的槽体内，其特征在于，包括：

喷嘴体；

套于所述喷嘴体外部的套管，所述套管上具有至少两个朝向不同方向的喷孔；

所述套管具有沿长度方向设置的至少两组喷孔，每一组具有多个喷孔，不同组内的喷孔朝向不同方向；

所述套管能够绕所述喷嘴体转动，以调整所述套管上的喷孔的方向。

2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴体设置有出液口。

3.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述套管的端部与所述喷嘴体之间形成密封腔，用于容纳从喷嘴体内喷出的化学液。

4.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴的端部设置有马达，与所述套管连接，用于控制所述套管的转动。

5.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述套管与所述喷嘴之间设置有旋转轴承结构，以支撑所述套管转动。

6.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述套管设置有3～8组喷孔，分别朝向不同的方向。

7.一种化学液槽装置，其特征在于，包括：

槽体，用于盛放化学液以及待处理的晶圆；

至少一个如权利要求1至6中任一项所述的喷嘴，所述喷嘴为长条形，设置于所述槽体内壁处，与晶圆放置平面垂直，用于向所述槽体内喷入化学液，所述喷嘴的喷液方向与晶圆放置平面平行。