[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置有效
申请号: | 201810991653.9 | 申请日: | 2018-08-28 |
公开(公告)号: | CN109428564B | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 三村昌和;岸本谕卓 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
主分类号: | H03H9/25 | 分类号: | H03H9/25 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 朴云龙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 弹性 装置 高频 前端 电路 以及 通信 | ||
1.一种弹性波装置,具备:
支承基板;
声反射层,具有声阻抗相对低的至少三层以上的低声阻抗层和声阻抗相对高的至少两层以上的高声阻抗层,且设置在所述支承基板上;
压电体层,设置在所述声反射层上;以及
IDT电极,设置在所述压电体层上,
所述低声阻抗层和所述高声阻抗层交替地层叠,
所述声反射层中的各层的膜厚的关系为如下关系中的至少一种关系:
位于最靠所述压电体层侧的所述低声阻抗层的膜厚比其它所有的所述低声阻抗层的膜厚薄;以及
位于最靠所述压电体层侧的所述高声阻抗层的膜厚比其它所有的所述高声阻抗层的膜厚薄。
2.根据权利要求1所述的弹性波装置,其中,
在所述声反射层中,所述低声阻抗层位于最靠所述压电体层侧,
位于最靠所述压电体层侧的所述低声阻抗层的膜厚比其它所有的所述低声阻抗层的膜厚薄。
3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置,其中,
在所述声反射层中,位于最靠所述压电体层侧的所述低声阻抗层的膜厚比其它所有的所述低声阻抗层的膜厚薄,且位于最靠所述压电体层侧的所述高声阻抗层的膜厚比其它所有的所述高声阻抗层的膜厚薄。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的弹性波装置,其中,
利用了S0模式的板波。
5.一种高频前端电路,具备:
权利要求1~4中的任一项所述的弹性波装置;以及
功率放大器。
6.一种通信装置,具备:
权利要求5所述的高频前端电路;以及
RF信号处理电路。
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