[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置

说明书

本发明提供一种能够增大主模式的频率与产生杂散的频率之差的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；声反射层(3)，具有声阻抗相对低的多个低声阻抗层(4a～4d)和声阻抗相对高的多个高声阻抗层(5a～5c)，且设置在支承基板(2)上；压电体层(6)，设置在声反射层(3)上；以及IDT电极(7)，设置在压电体层(6)上。声反射层(3)中的各层的膜厚的关系为如下关系中的至少一种关系：位于最靠压电体层(6)侧的低声阻抗层(4a)的膜厚比其它所有的低声阻抗层(4b～4d)的膜厚薄；以及位于最靠压电体层(6)侧的高声阻抗层(5a)的膜厚比其它所有的高声阻抗层(5b、5c)的膜厚薄。

技术领域

本发明涉及弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。

背景技术

以往，弹性波装置广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一个例子。该弹性波装置具有设置在支承基板与压电体层之间的声反射层。在声反射层中，交替地层叠有低声阻抗层和高声阻抗层。专利文献1的弹性波装置利用S₀模式等的板波作为主模式。多个低声阻抗层的膜厚和多个高声阻抗层的膜厚分别设为全部相等。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2012/086441号

在专利文献1记载的弹性波装置中，具有在主模式的频率附近产生大的杂散的倾向。因此，上述杂散有可能对弹性波装置的滤波器特性造成影响。

发明内容

发明要解决的课题

本发明的目的在于，提供一种能够增大主模式的频率与产生杂散的频率之差的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的弹性波装置具备：支承基板；声反射层，具有声阻抗相对低的至少三层以上的低声阻抗层和声阻抗相对高的至少两层以上的高声阻抗层，且设置在所述支承基板上；压电体层，设置在所述声反射层上；以及IDT电极，设置在所述压电体层上，所述低声阻抗层和所述高声阻抗层交替地层叠，所述声反射层中的各层的膜厚的关系为如下关系中的至少一种关系：位于最靠所述压电体层侧的所述低声阻抗层的膜厚比其它所有的所述低声阻抗层的膜厚薄；以及位于最靠所述压电体层侧的所述高声阻抗层的膜厚比其它所有的所述高声阻抗层的膜厚薄。

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的局面中，在所述声反射层中，所述低声阻抗层位于最靠所述压电体层侧，位于最靠所述压电体层侧的所述低声阻抗层的膜厚比其它所述低声阻抗层的膜厚薄。在该情况下，能够更进一步增大主模式的频率与产生杂散的频率之差。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，在所述声反射层中，位于最靠所述压电体层侧的所述低声阻抗层的膜厚比其它所有的所述低声阻抗层的膜厚薄，且位于最靠所述压电体层侧的所述高声阻抗层的膜厚比其它所有的所述高声阻抗层的膜厚薄。在该情况下，能够更进一步增大主模式的频率与产生杂散的频率之差。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的局面中，利用了S₀模式的板波。

本发明的高频前端电路具备按照本发明构成的弹性波装置和功率放大器。

本发明的通信装置具备按照本发明构成的高频前端电路和RF信号处理电路。

发明效果

根据本发明，能够提供一种能够增大主模式的频率与产生杂散的频率之差的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。

图2是示出板波的传播模式的例子的图。