[发明专利]一种直拉单晶补掺合金的工艺方法

说明书

本发明提供一种直拉单晶补掺合金的工艺方法，包括以下步骤：s1：籽晶与溶体熔接，熔接后进行降温；s2：测量溶体液面温度，当液面温度达到扩肩温度后，以恒定拉速向拉晶相反方向提升，进行扩肩。本发明的有益效果是使得在直拉单晶过程中补掺合金更加方便，采用与拉晶方向相反的方向进行提升扩肩，使得扩肩上部具有一定斜度，掺杂的合金不易脱落。

技术领域

本发明属于单晶生产技术领域，尤其是涉及一种直拉单晶补掺合金的工艺方法。

背景技术

单晶生长过程包括，拆清、熔料、稳温、引晶、扩肩、转肩、等径、收尾、停炉工步。在单晶拉制过程中，为了调节单晶出炉电阻率，需要进行补掺合金。目前补掺合金需要进行扩肩，然后将合金放到肩部，但是合金在肩部提升旋转等过程中易脱落。

发明内容

鉴于上述问题，本发明要解决的问题是提供一种直拉单晶补掺合金的工艺方法，尤其适合直拉单晶补掺合金使用，防止合金脱落，提高单晶出炉电阻的准确性。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种直拉单晶补掺合金的工艺方法，包括以下步骤：

s1：籽晶与溶体熔接，形成粗晶部和细晶部，熔接后进行降温；

s2：测量溶体液面温度，当液面温度达到扩肩温度后，以恒定拉速向拉晶相反方向提升，进行扩肩。

进一步的，扩肩结束后，在肩部设置补掺合金。

进一步的，步骤s1中的降温时的降温功率为5-10kw。

进一步的，步骤s2中的扩肩温度为1425-1450℃。

进一步的，步骤s2中的恒定拉速为10-100mm/min。

一种直拉单晶补掺合金装置，包括粗晶部、细晶部和采用与拉晶方向相反提升形成的扩肩，粗晶部、细晶部与采用与拉晶方向相反提升形成的扩肩依次连接，扩肩的肩部设有补掺合金。

进一步的，采用与拉晶方向相反形成的扩肩的肩部与竖直方向的夹角小于90°。

进一步的，采用与拉晶方向相反形成的扩肩肩部上表面与竖直向上方向的夹角小于90°。

进一步的，粗晶部、细晶部和采用与拉晶方向相反提升形成的扩肩一体成型。

本发明具有的优点和积极效果是：

1.由于采用上述技术方案，使得在直拉单晶过程中补掺合金更加方便，采用与拉晶方向相反的方向进行提升扩肩，使得扩肩上部具有一定斜度，掺杂的合金不易脱落；

2.采用该直拉单晶补掺合金的工艺方法，能够有效避免直拉单晶掺杂过程合金脱落，提高出炉单晶电阻率的一致性，提高单晶品质；

3.采用该直拉单晶补掺合金的工艺方法，有效的避免了合金脱落，单晶电阻率准确控制，能够降低重复掺杂的工时浪费，提高单晶品质，降低合金损耗，提高合格率降低成本。

附图说明

图1是现有技术的补掺合金结构示意图；

图2是本发明的一实施例的结构示意图。

图中：

1、粗晶部 2、肩部 3、合金

4、细晶部

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的说明。