[发明专利]一种真空磁控溅射用新型平面阴极

说明书

本发明公开了一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩，所述阴极罩的内部中间设有防护基座，所述阴极罩的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板，铜背板的上表面与防护基座之间均匀连接有固定磁铁和电磁板，通过抽水泵可以将冷却液盛放箱中的冷却液抽取到冷却管路内，通过冷却管路可以对靶材和阴极罩的内部进行散热，通过散热管可以对吸热后的冷却液进行散热，并且通过抽气泵可以将气体抽取到冷凝器的内部，通过变阻器可以对电磁板磁力的大小进行调节，本真空磁控溅射用新型平面阴极结构简单，操作简便，不但使得对装置安装更加方便，而且使得冷却效果更好，并且可以对磁力大小调节更加方便。

技术领域

本发明涉及磁场平面溅射靶技术领域，具体为一种真空磁控溅射用新型平面阴极。

背景技术

真空镀膜技术在微电子、航空航天、机械制造、食品包装等许多领域已广泛应用。磁控溅射镀膜具有低温、高速的特点，可长时间批量化生产，但是现有的平面阴极结构复杂，而且安装不便，并且对装置散热效果不好，使用不便，而且对磁力大小不能进行调节，为人们带来许多不便。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种真空磁控溅射用新型平面阴极，结构简单，操作简便，不但使得对装置安装更加方便，而且使得冷却效果更好，并且可以对磁力大小调节更加方便，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空磁控溅射用新型平面阴极，包括阴极罩，所述阴极罩的内部中间设有防护基座，所述阴极罩的下表面通过螺栓连接的方式连接有铜背板，铜背板的上表面与防护基座之间均匀连接有固定磁铁和电磁板，铜背板的内部设有冷却管路，所述铜背板的下表面设有凹槽，该凹槽的内部设有靶材，所述防护基座的上表面设有冷却液盛放箱和变阻器，变阻器的输出端电连接电磁板的输入端，所述阴极罩的上表面设有上端连接板，上端连接板的上表面设有抽气泵和冷凝器，所述抽气泵的出气口通过导管与冷凝器的进气口连接，冷凝器的出气口通过导管与连接外壳的进气口连接，连接外壳的内部设有散热管，散热管的进水口通过导管与冷却管路，阴极罩的一侧通过螺栓连接有抽水泵，抽水泵的进水口通过导管与冷却液盛放箱的一侧下端连接，冷却液盛放箱的上端进水口通过导管与散热管的出水口连接，所述抽水泵的出水口通过导管与冷却管路的进水口连接，所述上端连接板的上表面设有PLC控制器，PLC控制器的输入端电连接外部电源的输出端，PLC控制器的输出端电连接抽水泵、冷凝器和变阻器的输入端。

作为本发明的一种优选技术方案，所述靶材通过螺栓连接的方式与铜背板连接，并且靶材的下表面低于铜背板的下表面。

作为本发明的一种优选技术方案，所述阴极罩的侧面中间通过焊接的方式连接有安装耳板，安装耳板上设有固定螺栓孔，固定螺栓孔的内侧设有内螺纹。

作为本发明的一种优选技术方案，所述连接外壳为锥形结构，并且连接外壳的下端与上端连接板的上表面之间设有支撑柱。

作为本发明的一种优选技术方案，所述散热管的螺旋结构，并且散热管与连接外壳的内侧相互贴合，并且散热管的外侧通过焊接的方式连接有散热板。

作为本发明的一种优选技术方案，所述固定磁铁的个数不少于三个，并且电磁板的个数不少于两个，并且固定磁铁和电磁板间隔分布。

作为本发明的一种优选技术方案，所述铜背板的上表面均匀焊接有吸热板，吸热板位于阴极罩的内部。

作为本发明的一种优选技术方案，所述防护基座通过螺栓连接的方式与阴极罩连接，防护基座的侧面与阴极罩的内侧之间设有封闭圈。

作为本发明的一种优选技术方案，所述冷却管路位于铜背板的中间，并且冷却管路为S型结构。

作为本发明的一种优选技术方案，所述安装耳板的个数为四个，四个安装耳板分别位于阴极罩的四角。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：