[发明专利]静电吸盘、成膜装置、基板的吸附方法、成膜方法以及电子设备的制造方法

说明书

本发明的静电吸盘，包括具有电极部的静电吸盘板状件部，所述电极部包括交替配置有分别施加不同极性的电压的电极的部分，所述交替配置的部分的至少一部分，以与进行基板向所述静电吸盘板状件部的吸附的第一方向交叉的方式延伸。

技术领域

本发明涉及成膜装置，尤其是涉及在成膜装置中用于吸附并保持基板的静电吸盘的电极排列。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置倍受瞩目。有机EL显示装置是自发光显示器，其响应速度、视角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，在监视器、电视、以智能手机为代表的各种便携终端等领域正在快速地代替现有的液晶面板显示器。另外，在汽车用显示器等方面也在扩大其应用领域。

有机EL显示装置的元件具有在两个相向的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物质层这样的基本构造。有机EL显示装置元件的有机物质层以及电极层，通过经由形成有像素图案的掩模将蒸镀材料向置于真空腔室上部的基板(的下表面)蒸镀而形成，所述蒸镀材料通过加热设置于成膜装置的真空腔室的下部的蒸镀源而被蒸发出来。

在这样向上蒸镀方式的成膜装置的真空腔室内，基板由基板支架进行保持，为了不对形成于基板(的下表面)的有机物质层/电极层造成损伤，利用基板支架的支承部支承基板的下表面周缘。在这种情况下，随着基板的尺寸增大，没有由基板支架的支承部支承的基板的中央部，因基板的自重而发生挠曲，成为降低蒸镀精度的主要原因。

作为减少因基板的自重而引起的挠曲的方法，研究了使用静电吸盘的技术。即，在基板支架的支承部的上部设置静电吸盘，在使静电吸盘接近或者接触基板的上表面的状态下向静电吸盘施加吸附电压，在基板的表面上感应相反极性的电荷，由此利用静电吸盘的静电引力牵拉基板的中央部，从而能够减少基板的挠曲。

发明内容

要解决的课题

但是，即使向静电吸盘施加吸附电压，基板也并不会立即被静电吸盘吸附，利用向静电吸盘施加的吸附电压来使基板感应上相反极性的电荷这一动作花费时间。由此，利用静电吸盘吸附基板整体非常花费时间。

特别是，根据静电吸盘所包含的电极的配置图案，利用静电吸盘吸附基板所花费的时间存在很大的差异。

例如，图7所图示的静电吸盘70，具有多个吸附部701至709，在向静电吸盘的各吸附部施加电压时，如箭头所示从静电吸盘的右侧边朝向左侧边进行。即，从沿着静电吸盘的右侧的长边配置的吸附部701、702、703开始施加吸附电压，经由静电吸盘的中央部的吸附部704、705、706，最后向沿着左侧的长边配置的吸附部707、708、709施加吸附电压。由此，基板向静电吸盘70的吸附，从与静电吸盘右侧的长边对应的基板右侧的长边的周缘部开始经由基板的中央部，向朝向基板左侧的长边的周缘部的方向(吸附方向)进行。

但是，如图7的静电吸盘70那样，在与这样的吸附方向(即，按照向多个吸附部施加电压的顺序的方向)平行地配置静电吸盘70内的梳子形状的电极71的梳齿部的情况下，不是在吸附方向交替地感应正电荷和负电荷，而是连续地感应正电荷以及负电荷中的某一种电荷。由此，向着吸附方向的静电引力的强度减小，基板向吸附方向的吸附速度变慢。

另外，在进行吸附的各个瞬间，静电吸盘的长边方向(与吸附方向交叉的方向)上的电极图案所占的面积变小。即，在具有图7所示那样的电极配置图案的静电吸盘的情况下，在进行吸附的瞬间，同时进行吸附的静电吸盘的长边方向上的电极图案所占的面积，由电极71的宽度来决定。因此，在进行向静电吸盘吸附基板的各个瞬间，静电吸盘的长边方向上的与吸附相关的电极部分不连续(在图7的左下方，由虚线包围的部分概略地表示电极的有助于吸附的部分)，与吸附相关的电极部分的面积变小。其结果是，即使在与吸附方向交叉的方向上，基板的吸附也更花时间，整体上看，每一片基板的处理时间(Tact)增加，生产性降低。