[发明专利]有机EL显示面板、有机EL显示装置及其制造方法

权利要求书

1.一种有机EL显示面板，其特征在于，具备：

基板；

多个有机EL元件，形成于所述基板上；以及

密封层，配置于所述多个有机EL元件的上方，并按照第一密封层、第二密封层、第三密封层的顺序层叠而成，

所述第一密封层、所述第二密封层、所述第三密封层分别由非晶质氮化硅构成，

当所述第一密封层、所述第二密封层、所述第三密封层各自的组成为SiN_x时，第二密封层组成中x的值大于第一密封层组成中x的值和第三密封层组成中x的值中任一方。

2.根据权利要求1所述的有机EL显示面板，其特征在于，

所述第二密封层的折射率小于所述第一密封层的折射率和所述第三密封层的折射率中任一方。

3.根据权利要求2所述的有机EL显示面板，其特征在于，

所述第二密封层的折射率为1.60以上且1.78以下。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的有机EL显示面板，其特征在于，

所述第一密封层的折射率和所述第三密封层的折射率相同。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的有机EL显示面板，其特征在于，

所述第二密封层的材料相对于所述第一密封层的材料和所述第三密封层的材料中任一方，当曝露于相同温度且相同湿度的大气中，从大气中的水中吸收氧的反应的反应性高。

6.根据权利要求5所述的有机EL显示面板，其特征在于，

所述第三密封层具有异物等引起的缺陷，所述第二密封层对应该缺陷的部分曝露于大气中，

所述第二密封层包含比所述第一密封层和所述第三密封层中任一方都多的氧。

7.一种有机EL显示装置，其特征在于，

所述有机EL显示装置具备根据权利要求1至6中任一项所述的有机EL显示面板。

8.一种有机EL显示面板的制造方法，其特征在于，包括：

准备基板的工序；

在所述基板上形成多个有机EL元件的工序；

在所述有机EL元件的上方形成第一密封层的工序；

在所述第一密封层上形成第二密封层的工序；以及

在所述第二密封层上形成第三密封层的工序，

所述第一密封层、所述第二密封层、所述第三密封层各自的形成工序是非晶质氮化硅膜通过CVD法的成膜工序，

当所述第一密封层、所述第二密封层、所述第三密封层各自的组成为SiN_x时，第二密封层组成中x的值大于第一密封层组成中x的值和第三密封层组成中x的值中任一方。

9.根据权利要求8所述的有机EL显示面板的制造方法，其特征在于，

在所述非晶质氮化硅膜通过CVD法的成膜工序中，原料气体包括硅烷和氨，

所述第二密封层的形成工序中硅烷相对于氨的比率比所述第一密封层的形成工序和所述第三密封层的形成工序中硅烷相对于氨的比率低。

10.根据权利要求9所述的有机EL显示面板的制造方法，其特征在于，

所述第二密封层的形成工序中硅烷相对于氨的比率为0.2以上且0.65以下。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的有机EL显示面板的制造方法，其特征在于，

在所述非晶质氮化硅膜通过CVD法的成膜工序中，原料气体包括硅烷和氨，

所述第二密封层的形成工序中原料气体的压力比所述第一密封层的形成工序和所述第三密封层的形成工序中原料气体的压力高。

12.根据权利要求11所述的有机EL显示面板的制造方法，其特征在于，

所述第二密封层的形成工序中原料气体的压力为200Pa以上且500Pa以下。