[发明专利]集成电路用晶圆贴标签设备

权利要求书

1.集成电路用晶圆贴标签设备，其特征在于包括机架（7）及其上的标签进出料装置（1）、标签移贴装置（3）、晶圆固定装置（4）、贴标检测装置（5）、晶圆移运装置（6）和晶圆进出料装置（2）；标签进出料装置（1）用于空白标签的进料、标签的喷码和废纸的回收；晶圆进出料装置（2）用于实现待贴标的晶圆的上料和加工成品的下料；标签移贴装置（3）用于吸取标签进出料装置（1）中的标签，并将其粘贴在晶圆固定装置（4）中的晶圆上；晶圆固定装置（4）用于固定待加工的晶圆；贴标检测装置（5）用于检测晶圆的贴标状况；晶圆移运装置（6）用于将待加工的晶圆的移运到晶圆固定装置（4）中完成上料，以及将晶圆固定装置（4）中的加工成品移运到晶圆进出料装置（2）中完成下料；

标签进出料装置（1）包括料筒安装板（11）、收料料筒（12）、进料料筒（13）、第一电机（14）、导向杆（15）、喷码打印机（16）、导杆定位组件（17）、喷码打印机固定座（18）、出料斜条（19）和进料检测器（110）；料筒安装板（11）固定安装在机架（7）上，进料料筒（13）和收料料筒（12）转动连接在料筒安装板（11）上，收料料筒（12）用于缠绕回收的料带，进料料筒（13）用于缠绕待喷码的空白标签，进料料筒（13）位于收料料筒（12）下方；第一电机（14）安装在料筒安装板（11）上，第一电机（14）输出轴与收料料筒（12）转轴相连接，第一电机（14）带动收料料筒（12）转动；导向杆（15）连接在料筒安装板（11）上，用于导向标签带的走向；喷码打印机（16）固定安装在喷码打印机固定座（18）上，喷码打印机固定座（18）固定在机架（7）上，收料料筒（12）上的标签通过喷码打印机（16）；喷码打印机（16）进料口为右侧，出料口为左侧a处，在进料的空白标签上喷含有相关信息的条码，在左侧出料口a处等待标签移贴装置（3）移取；导杆定位组件（17）、出料斜条（19）和进料检测器（110）安装在喷码打印机固定座（18）上，导杆定位组件（17）用于导向和限定标签带，喷码打印机（16）的进料口和出料口处均设有导杆定位组件（17），出料斜条（19）位置对应喷码打印机（16）的出料口a；进料检测器（110）位置对应晶圆固定装置（4），当检测到晶圆到位后驱动标签移贴装置（3）工作；

标签进出料装置（1）在工作时，由第一电机（14）带动收料料筒（12）步进式转动，从而使得标签带被动上料；标签带上依次粘贴有空白标签，首先进入喷码打印机（16）后喷上条码，在出料口由标签移贴装置（3）实现剥离和移运；剥离后的料带废料进入收料料筒（12）中完成收集；

晶圆进出料装置包括升降支座（21）、第一移动线轨组件（22）、第一丝杠螺母座（23）、第一立式轴承（24）、第一丝杠（25）、同步带轮（26）、第二电机（27）、晶圆置料架（28）和调节夹紧组件（29）；第一移动线轨组件（22）包括通过移动副连接的滑轨和滑座；第一丝杠螺母座（23）与第一丝杠（25）形成丝杠螺母副配合连接，第一丝杠螺母座（23）与升降支座（21）固定连接；两个同步带轮（26）分别安装在第一丝杠（25）和第二电机（27）输出端上；晶圆置料架（28）为前后两端贯通的方盒形，晶圆置料架（28）左右内壁上设置有用于分层放置晶圆的多个水平凹槽（281），多个水平凹槽上下等距规则排列；调节夹紧组件（29）安装在升降支座（21）上，晶圆置料架（28）通过调节夹紧组件（29）连接在升降支座（21）上；调节夹紧组件（29）包括第二丝杠（291）、夹板（292）、第二丝杠螺母（293）和调节旋钮（294）；第二丝杠（291）通过第二立式轴承（295）安装在升降支座（21）上，第二丝杠（291）两侧丝杆旋向相反；调节旋钮（294）固定安装在第二丝杠（291）一端；第二丝杠螺母（293）对应配合连接在第二丝杠（291）上，第二丝杠螺母（293）与夹板（292）固定连接，夹板（292）位于升降支座（21）的槽中，夹板（292）上端横直段用于夹紧晶圆置料架（28）；升降支座（21）通过第一移动线轨组件（22）连接在机架（7）上，第一丝杠（25）通过第一立式轴承（24）连接在机架（7）上，第二电机（27）通过第二电机安装座（210）安装在机架（7）上；

晶圆进出料装置（2）在工作时，由第二电机（27）带动第一丝杠（25）转动，实现升降支座（21）的升降，通过控制第二电机（27）的转速来控制升降支座（21）每次上升或下降水平凹槽的高度；晶圆置料架（28）中的水平凹槽中用于放置晶圆，上下依次叠放，首先将上层的晶圆通过晶圆移运装置（6）移运到晶圆固定装置（4）中进行加工，加工完毕后移运回原位，通过升降晶圆置料架（28）一次操作，直至加工完晶圆置料架（28）中的所有工件；

晶圆固定装置（4）包括晶圆吸附机构（41）和晶圆载台机构（42）；晶圆载台机构（42）和晶圆吸附机构（41）安装在机架（7）上；

晶圆吸附机构（41）包括圆形吸盘（411）、圆柱形光轴（412）、安装板（413）和第二气缸（414）；安装板（413）固定在机架（7）上，圆柱形光轴（412）固定在圆形吸盘（411）底部，圆柱形光轴（412）通过直线轴承移动连接在安装板（413）上，圆形吸盘（411）上设有多个用于吸住晶圆载台机构（42）上晶圆的吸气孔；第二气缸（414）固定设置在安装板（413）上，第二气缸（414）伸缩端与圆形吸盘（411）相连接；

晶圆吸附机构（41）在工作时，由第二气缸（414）顶起圆形吸盘（411），通过圆形吸盘（411）吸气吸住晶圆载台机构（42）中的晶圆，使之固定；晶圆吸附机构（41）可以升降，用于实现晶圆工件的固定与分离；

晶圆载台机构（42）包括晶圆夹条（421）、第一移动模组（422）、第四电机（423）、第三丝杠螺母（424）和第三丝杠（425）；晶圆夹条（421）和第一移动模组（422）分别是两个，每个晶圆夹条（421）通过一个第一移动模组（422）连接在机架（7）上；晶圆夹条（421）包括底座（4211）及其上的晶圆夹杆（4212），底座连接在第一移动模组（422）上，晶圆夹杆内侧设有L形缺口，两个晶圆夹条（421）相向设置，使得晶圆处于在两个晶圆夹条（421）之间，晶圆夹条（421）沿第一移动模组（422）来回移动；第三丝杠（425）通过第三立式轴承（426）安装在机架（7）上，第四电机（423）输出轴与第三丝杠（425）相连接；第三丝杠（425）两侧丝杠旋向相反；第三丝杠螺母（424）相对应配合在第三丝杠（425）两端，两个第三丝杠螺母（424）分别对应连接两个晶圆夹条（421）；

晶圆载台机构（42）在工作时，由第四电机（423）带动第三丝杠（425）转动，从而两个晶圆夹条（421）相互靠近或者相互远离，用以放置不同尺寸的晶圆，晶圆可以沿着晶圆夹条（421）滑动，通过晶圆吸附机构（41）固定；

晶圆移运装置（6）包括第六电机（61）、丝杠传动组件（62）、第三移动模组（63）、悬伸臂（64）和晶圆夹取机构（65）；第六电机（61）通过第六电机固定座（66）固定安装在机架（7）上，第六电机（61）输出轴与丝杠传动组件（62）的丝杠相连接；丝杠传动组件（62）和第三移动模组（63）并排平行安装在机架（7）上，悬伸臂（64）连接在丝杠传动组件（62）和第三移动模组（63）上；用于夹住晶圆和压紧标签的晶圆夹取机构（65）安装在悬伸臂（64）上；晶圆夹取机构（65）包括连接钣金件（651）、第三气缸（652）、手指气缸（653）、上夹头（654）、下夹头（655）、遮光片（656）和红外传感器（657）；连接钣金件（651）设置在悬伸臂（64）上，连接钣金件（651）呈U形，第三气缸（652）安装在连接钣金件（651）左立板上，红外传感器（657）安装在连接钣金件（651）右立板上；手指气缸（653）水平安装在第三气缸（652）的移动部上，上夹头（654）安装在手指气缸（653）的上移动端上，下夹头（655）安装在手指气缸（653）的底端；遮光片（656）安装在手指气缸（653）上，遮光片（656）位置与红外传感器（657）相对齐。