[发明专利]晶片测试装置及测试方法在审
| 申请号： | 201811019070.6 | 申请日： | 2018-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN108957300A | 公开（公告）日： | 2018-12-07 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 信号合成装置 第二信号 检测仪 晶片测试装置 接口设置 晶片插座 介面卡 测试装置 低频检测 高频测试 低频率 高频率 输出端 输入端 晶片 种晶 合成 测试 输出 | ||
1.一种晶片测试装置，其特征在于，所述晶片测试装置包括：
介面卡，所述介面卡包括：
信号合成装置，用于将多个检测仪发出的第一信号合成第二信号，并将所述第二信号发送给晶片插座；
多个第一接口，设置在所述信号合成装置的输入端，用于连接所述多个检测仪；
第二接口，设置在所述信号合成装置的输出端，用于连接晶片插座。
2.如权利要求1所述的晶片测试装置，其特征在于，所述第二信号的频率高于所述第一信号的频率。
3.如权利要求1所述的晶片测试装置，其特征在于，多个所述第一信号之间具有预设的相位差。
4.如权利要求3所述的晶片测试装置，其特征在于，所述晶片测试装置还包括：
多个检测仪，分别和多个第一接口对应连接，用于输出所述第一信号。
5.如权利要求4所述的晶片测试装置，其特征在于，所述晶片测试装置还包括：
控制器，和多个所述检测仪连接，用于控制所述检测仪输出的第一信号，使得多个所述第一信号之间具有预设的相位差。
6.如权利要求1所述的晶片测试装置，其特征在于，所述信号合成装置包括：
多个缓冲器，其中，每个缓冲器的输入端对应一个第一接口，多个缓冲器的输出端连接，用于将多路所述第一信号合成为所述第二信号。
7.如权利要求1所述的晶片测试装置，其特征在于，所述信号合成装置包括：
或门，用于接收多个所述检测仪发出的第一信号，将多个所述第一信号合成第二信号，并将所述第二信号发送给所述晶片插座。
8.如权利要求1所述的晶片测试装置，其特征在于，所述信号合成装置包括：
加法器，用于接收多个所述检测仪发出的所述第一信号，将多个所述第一信号合成所述第二信号，并将所述第二信号发送给所述晶片插座。
9.如权利要求1所述的晶片测试装置，其特征在于，所述晶片测试装置还包括：
晶片插座，和所述第二接口连接，用于安装晶片。
10.一种晶片测试装置的晶片测试方法，其特征在于，包括：
接收多个检测仪输出的多个第一信号；
将多个所述第一信号合成第二信号；
将所述第二信号传输至晶片插座进行晶片测试。
11.如权利要求10所述的晶片测试方法，其特征在于，所述第二信号的频率高于所述第一信号的频率。
12.如权利要求10所述的晶片测试方法，其特征在于，所述多个检测仪输出的多个所述第一信号之间具有预设的相位差。
13.如权利要求10所述的晶片测试方法，其特征在于，所述接收多个检测仪输出多个第一信号之前，还包括：
所述多个检测仪分别输出第一信号。
14.如权利要求13所述的晶片测试方法，其特征在于，所述多个检测仪分别输出第一信号，包括：
通过控制器控制多个检测仪分别输出第一信号，使得多个所述第一信号之间具有预设的相位差。
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