[发明专利]一种超黑吸光材料的制备方法

权利要求书

1.一种超黑吸光材料的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

第一步，依次使用去离子水、乙醇、丙酮分别清洗生长基底，干燥后备用；

第二步，将干燥后的生长基底放入管式等离子体增强化学气相沉积设备的加热区域中央，调节加热区域与射频电源线圈之间的距离，然后关闭放气阀并抽真空，当真空度小于0.02 Torr后，向腔体通入氢气，并开启加热区域加热生长基底，还原生长基底表面的氧化物，5min后，开启射频电源，调节输出功率，电离氢气，增强其还原性能，继续还原生长基底表面的氧化物；

第三步，5min后，通入碳氢化合物，调节氢气的流速，调节射频电源的输出功率，生长目标材料，达到预定的生长时间后，关闭射频电源，降低温度至25℃，通入空气，得到生长了超黑吸光材料的生长基底；

第四步，涂覆有机薄膜于生长超黑吸光材料的生长基底上，待有机薄膜干燥后，将其从生长基底上剥离，得到柔性的超黑吸光材料薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种超黑吸光材料的制备方法，其特征在于：第一步中所述生长基底为石英片、金属片和带有催化剂的石英片中的任意一种，所述催化剂包括金属有机化合物或铜、镍和铁的任意一种或任意混合。

3.根据权利要求1所述的一种超黑吸光材料的制备方法，其特征在于：第二步中所述加热区域与射频电源线圈之间的距离为1-50cm，氢气的流量为10-20sccm，加热区域的加热温度为700-1200℃，射频电源的输出功率为100-300W。

4.根据权利要求1所述的一种超黑吸光材料的制备方法，其特征在于：第三步中所述碳氢化合物包括甲烷、乙烯和乙炔中的任意一种或任意混合气体，其流量为1-20sccm，氢气的流量为0-20sccm，射频电源的输出功率为100-1000W，生长时间为1-10h。

5.根据权利要求1所述的一种超黑吸光材料的制备方法，其特征在于：第四步中所述有机薄膜是有机溶液固化形成的透明柔性薄膜。