[发明专利]一种三自由度的平行度调节器

权利要求书

1.一种三自由度的平行度调节器，其特征在于：包括平台台体(1)、调节器(2)和调节台(3)，所述调节器(2)安装在所述平台台体(1)的一侧，所述平台台体(1)与所述调节台(3)连接；

所述调节器(2)包括基座(4)、第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)和锁紧螺钉(7)，所述基座(4)安装在所述平台台体(1)的一侧，所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)和锁紧螺钉(7)均安装在所述基座(4)上，所述锁紧螺钉用于调节并锁紧所述第一调节旋钮(5)与第二调节旋钮(6)的位置；

所述调节台(3)上开设有调节槽(8)，所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)与所述调节槽(8)相配合，所述调节台(3)上设有第一调节轴(9)和第二调节轴(10)，所述第一调节轴(9)与第二调节轴(10)分别与所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)相配合，所述第一调节旋钮(5)用于在所述第一调节轴(9)的方向上调节，所述第二调节旋钮(6)用于在所述第二调节轴(10)的方向上调节。

2.根据权利要求1所述的平行度调节器，其特征在于：所述第一调节轴(9)、第二调节轴(10)之间的夹角为120°。

3.根据权利要求2所述的平行度调节器，其特征在于：所述调节台(3)采用弧形结构的柔性铰链。

4.根据权利要求3所述的平行度调节器，其特征在于：所述第一调节旋钮(5)、第二调节旋钮(6)朝向所述调节槽(8)的一端为圆锥体。

5.根据权利要求4所述的平行度调节器，其特征在于：所述圆锥 体的锥角的误差为±10urad。

6.根据权利要求5所述的平行度调节器，其特征在于：所述调节槽(8)的误差为±10urad。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的平行度调节器，其特征在于：所述平台台体(1)的截面为正六边形。