[发明专利]一种三自由度的平行度调节器

说明书

本发明公开了三自由度的平行度调节器，调节器安装在平台台体的一侧，调节器包括基座、第一调节旋钮、第二调节旋钮和锁紧螺钉，基座安装在平台台体的一侧，第一调节旋钮、第二调节旋钮和锁紧螺钉均安装在基座上，用于调节并锁紧第一调节旋钮与第二调节旋钮的位置；调节台上开设有调节槽，第一调节旋钮、第二调节旋钮与调节槽相配合，调节台的第一调节轴与第二调节轴分别与第一调节旋钮、第二调节旋钮相配合。本发明的有益效果是夹角为120°的调节轴，实现了三个自由度的调节，灵活度高，两个调节轴采用串联模式，在调节时不会相互干扰，调节器安装在平行度调节器的一侧，占用体积小、采用柔性铰链实现单一方向调节倾斜度，有效提高调节精度。

技术领域

本发明属于精密仪器检测设备技术领域，尤其是涉及一种三自由度的平行度调节器。

背景技术

平行度调节器，也称为倾斜平台，是用来调节样品的倾斜角度的一种平台，被广泛应用在光学、测量等对角度有要求的领域中。随着纳米级别的高精度定位技术的快速发展，纳米级别的检测技术已日趋成熟，检测仪器与被检测物体之间的平行度要求也越来越高。

目前，传统的平行度调节器(如图1所示)，调整面与底座采用弹簧连接，在底座受到震动时，调整面的角度不容易保持，易发生变化，并且两个调节轴之间的夹角为90°，其调节的灵活度低，两个调节轴采用并联模式，在进行调节时会相互干扰，影响调节的精度；另外，传统的平行度调节器的体积较大大，使用不方便。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构简单、操作简单、调节精度高、可在三个自由度上进行调节、占用体积小的三自由度的平行度调节器。

本发明的技术方案如下：

一种三自由度的平行度调节器，包括平台台体、调节器和调节台，所述调节器安装在所述平台台体的一侧，所述平台台体与所述调节台连接；

所述调节器包括基座、第一调节旋钮、第二调节旋钮和锁紧螺钉，所述基座安装在所述平台台体的一侧，所述第一调节旋钮、第二调节旋钮和锁紧螺钉均安装在所述基座上，用于调节并锁紧所述第一调节旋钮与第二调节旋钮的位置；

所述调节台上开设有调节槽，所述第一调节旋钮、第二调节旋钮与所述调节槽相配合，所述调节台上设有第一调节轴和第二调节轴，所述第一调节轴与第二调节轴分别与所述第一调节旋钮、第二调节旋钮相配合，所述第一调节旋钮用于在所述第一调节轴的方向上调节，所述第二调节旋钮用于在所述第二调节轴的方向上调节。

在上述技术方案中，所述第一调节轴、第二调节轴之间的夹角为120°。

在上述技术方案中，所述调节台采用弧形结构的柔性铰链。

在上述技术方案中，所述第一调节旋钮、第二调节旋钮朝向所述调节槽的一端为圆锥体。

在上述技术方案中，所述圆椎体的锥角的误差为±10urad。

在上述技术方案中，所述调节槽的误差为±10urad。

在上述技术方案中，所述平台台体的截面为正六边形。

本发明具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，夹角为120°的调节轴，实现了三个自由度的调节，调节的灵活度高，两个调节轴采用串联模式，在调节时不会相互干扰，调节器安装在平行度调节器的一侧，减少占用的体积，采用柔性铰链实现单一方向调节倾斜度，有效提高调节精度，使用便捷。

附图说明

图1是现有技术的主视图；

图2是现有技术的侧视图；

图3是本发明的三自由度的平行度调节器的主视图；

图4是本发明的三自由度的平行度调节器的侧视图；