[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其一边使具有外形为圆形的面即圆形外形面的对象物以穿过该圆形的中心且沿与该圆形外形面大致垂直的方向延伸的线为轴进行旋转，一边对该对象物进行检查，

所述检查装置的特征在于，

针对用来检查的状态的所述对象物，将以下的m、n分别设为2以上的自然数，

所述检查装置具备：

向所述对象物照射通过所述圆形外形面的电磁波的至少一个电磁波产生源；以及

接收透过了所述对象物的所述电磁波的n个电磁波接收区域，所述n个电磁波接收区域分别具有m个小区域，

m×n个所述小区域分别以满足下述(1)以及(2)中的任一个的方式配置，

(1)在所述n个电磁波接收区域的各自中，在所述圆形外形面的俯视观察下在所述圆形的直径上并排设置，

(2)相对于所述(1)，成为距所述圆形的中心的分开距离彼此相同的n个所述小区域的组中的至少一组以所述线为轴而旋转了的配置。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

在所述n个电磁波接收区域中的至少一个电磁波接收区域中，

所述m个小区域越是在所述圆形外形面的俯视观察下远离所述圆形的中心的小区域，则沿着所述圆形的圆周的方向上的尺寸越大。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其中，

在所述n个电磁波接收区域中的至少一个电磁波接收区域中，

所述m个小区域越是在所述圆形外形面的俯视观察下远离所述圆形的中心的小区域，则越适于移动快的被拍摄体的拍摄。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备m×n个电磁波产生源，

所述m×n个电磁波产生源分别相对于所述n个电磁波接收区域的所述m个小区域而配置在与所述圆形外形面大致垂直的方向上。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的检查装置，其中，

所述检查装置具备一个电磁波产生源，

所述一个电磁波产生源相对于所述圆形的中心而配置在与所述圆形外形面大致垂直的方向上。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的检查装置，其中，

所述n个电磁波接收区域分别在彼此不同的时机从所述圆形外形面中的同一部分接收所述电磁波，

所述检查装置通过对解析用图像进行解析来检测附着于该同一部分的异物，该解析用图像是对通过所述n个电磁波接收区域分别接收所述电磁波所得的n个所述同一部分的图像进行累计而得到的图像。