[发明专利]检查装置

说明书

本发明提供能够高精度且高速地进行对象物的检查的检测装置。检测装置具备电磁波接收区域，电磁波接收区域分别具有在圆形外形面的俯视观察下在圆形的直径上并排设置的m个小区域。

技术领域

本发明涉及检查装置。

背景技术

锂离子二次电池等非水电解液二次电池广泛用作个人计算机、便携电话、便携信息终端等所使用的电池。尤其是锂离子二次电池与以往的二次电池相比，作为能削减CO₂的排出量且有助于节能的电池而受到关注。

以往，非水电解液二次电池用隔膜卷绕于芯部而成的隔膜卷绕体的开发不断进展。并且，研究了对附着于该隔膜卷绕体的异物进行检测的检查。

作为对附着于对象物的异物进行检测的检查的一例，举出专利文献1所公开的技术。在专利文献1所公开的技术中，利用毛细管透镜将从X射线源射出的X射线转换成平行X射线，向作为对象物的试样照射该平行X射线，利用TDI(Time Delay Integration)传感器来接收透过了该试样的平行X射线。在TDI传感器中，例如利用了专利文献2所公开的技术。

然而，作为对附着于具有外形为圆形的面(在隔膜卷绕体的情况下为侧面)的对象物的异物进行检测的检查，考虑下述的检查方法。需要说明的是，以下，将对象物中的外形为圆形的面也称为圆形外形面。

即，将穿过构成圆形外形面的外形的圆形的中心且沿与圆形外形面大致垂直的方向延伸的线作为轴而使对象物旋转。然后，向圆形外形面照射电磁波。然后，利用TDI传感器来接收透过了对象物的该电磁波。然后，对通过TDI传感器接收该电磁波而得到的图像进行解析，来检测附着于对象物的异物。由此，相对于专利文献1所公开的技术而言，能够使异物的检测高效率化，因此，能够实现检查的高速化。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报“日本特开2016-38350号公报(2016年3月22日公开)”

专利文献2：日本公开专利公报“日本特开昭61-22841号公报(1986年1月31日公开)”

通常，构成TDI传感器的多个像素呈矩阵状配置，且各像素处的图像的获取统一被实施。以下，以该通常的情况为例，针对在穿过构成圆形外形面200b(以及圆形外形面200a)的外形的圆形的中心300且沿与圆形外形面200b大致垂直的方向延伸的轴400上放置电磁波产生源2000、且使上述对象物100以该轴为中心旋转而对对象物100进行的检查中所产生的问题，参照图8的(a)～(c)来进行说明。将构成包含俯视观察圆形外形面200b时的距中心300的距离可近似为WA(以下，仅称为距离WA)的点在内的像素列A的各像素设为像素A1～像素Ap，将圆形外形面200b中的、像素A1～像素Ap处的来自电磁波产生源2000的电磁波2100的获取对象区域设为区域EA1～区域EAp。将构成包含距中心300的距离可近似为与距离WA不同的WB的点在内的像素列B的各像素设为像素B1～像素Br，将圆形外形面200b中的、像素B1～像素Br处的电磁波2100的获取对象区域设为区域EB1～区域EBr。需要说明的是，为了方便，在表示像素A1～像素Ap以及像素B1～像素Br中的任意一个的情况下，分别称为像素Am以及像素Bn。同样地，为了方便，在表示区域EA1～区域EAp以及区域EB1～区域EBr中的任意一个的情况下，分别称为区域EAm以及区域EBn。另外，将从中心300接收电磁波2100的像素的部分设为点300′。

当向要移动的对象物100照射电磁波2100时，在不同的时间通过了对象物100的某一特定区域的电磁波2100由不同的像素接收。在TDI传感器中，对在不同的时间通过了同一区域的电磁波2100的信息进行累计而得到解析用图像。