[发明专利]一种可调式芯片卡具的使用方法

权利要求书

1.一种可调式芯片卡具的使用方法，使用的卡具由底轨、控制台、加工台、载物夹片四部分组成；所述底轨是一个上表面呈矩形，在顶表面上加工有滑动轨道的条形的长方体底座；控制台的底面加工嵌入安装有与底轨的水平方向十字垂直的横轨，控制台通过上下两端头分别安装在横轨和底轨的滑块与底轨连接成一体；控制台内部中心位置安装有升降柱，升降柱的顶端头与加工台牢固连接；加工台通过台面前后两边的2个夹片固定条安装或拆卸载物夹片；所述载物夹片是尺寸略小于加工台台面的一个矩形薄片，矩形薄片的两个长边能够与2个夹片固定条配合固定或拆卸掉载物夹片；载物夹片分为一种常规的载物夹片和一种适用多规格芯片的载物夹片，其中常规的载物夹片，在矩形薄片的两个长边和两个短边上，加工有一对夹片纵移动板和一对夹片横移动板；适用多规格芯片的载物夹片，在矩形薄片的一个长边，从长边一端开始的一段长度上，加工有一段横固定板；横固定板的旁边加工有一个水平方向相互垂直的纵固定板，在纵固定板上安装有一个弧形开口对着横固定板的弧形移动板；加工的一段横固定板的长度与弧形移动板的长度相等；弧形移动板的形状像镰刀有直柄和弧形开口，弧形开口是以中间一个凹型的小矩形为中心，依次以小矩形的大小，两边对称呈阶梯状、平行递增小矩形形成的弧形台阶齿的形状；横固定板与弧形移动板中间的凹型小矩形对应，在对着弧形移动板的一边的中心位置处加工有中间凹边，并且横固定板在对着弧形移动板的一边上，与边平齐安装有水平放置、竖直端对着弧形移动板的L形固定条；L形固定条能够沿着横固定板左右移动和固定；其特征在于该使用方法包括如下步骤：

第一步，准备；先将卡具固定在光刻机上；根据芯片的形状、大小尺寸，选择载物夹片；

第二步，固定芯片；通过加工台上2个夹片固定条安装选择好的载物夹片，放上待加工的芯片固定位置；

（a）若是大尺寸、矩形芯片，选择带有一对夹片横移动板和一对夹片纵移动板的载物夹片；将载物夹片的两个长边插入加工台上2个夹片固定条的插槽内固定，或是松开夹片固定条上的上紧螺丝，将夹片固定条压在载物夹片的两个长边上，再拧紧上紧螺丝固定；然后将芯片放在载物夹片上，先用一对夹片横移动板或一对夹片纵移动板，对矩形芯片横向或纵向一个方向进行固定，然后根据芯片的形状调节固定另外一个方向，最终将芯片的位置固定，不能移动；

（b）若是大尺寸、圆形芯片，选择带有弧形移动板、纵固定板、横固定板的载物夹片，并通过加工台上2个夹片固定条安装固定好载物夹片；然后将圆形芯片的圆边紧靠横固定板的中间凹边，放置在载物夹片上；调整和移动弧形移动板和纵固定板的相对位置，使弧形移动板弧形开口的中间小矩形与横固定板的中间凹边前后对齐在圆形芯片的直径上，卡紧；将卡紧圆形芯片的弧形移动板和纵固定板固定；最终将芯片的位置固定，不能移动；

（c）若是小尺寸、圆形或矩形芯片，选择带有弧形移动板、纵固定板、横固定板的载物夹片，并通过加工台上2个夹片固定条安装固定好载物夹片；然后将圆形或矩形芯片的边紧靠横固定板的中间凹边，放置在载物夹片上；在L形固定条卡槽上移动L形固定条，使L形固定条的竖直固定条靠在圆形或矩形芯片的边上；调整和移动弧形移动板和纵固定板的相对位置，使弧形移动板弧形开口的某个小矩形的能够刚好卡住小尺寸的圆形或矩形芯片，同时卡紧弧形移动板和L形固定条，固定；最终将芯片的位置固定，不能移动；大尺寸的矩形芯片，也能够参照使用L形固定条固定位置；

第三步，固定加工台位置；开通电源，根据光刻机指示光标，移动滑块、控制台和升降柱调整加工台的三维位置，让光刻机的能量聚焦在待加工芯片上，通过触发控制台上的底轨固定按钮、升降柱固定按钮、横轨固定按钮，锁紧滑块、控制台和升降柱，固定加工台位置；查看并记录控制台上的纵坐标显示器、横坐标显示器、高度显示器的数值；

第四步，加工芯片；开通光刻机工作程序，开始加工芯片；对芯片的一处加工好后，需要对芯片其他位置进行光刻时，根据需要移动滑块、控制台，完成调节后，触发控制台上的底轨固定按钮和横轨固定按钮，锁紧底轨和横轨的机械装置，锁紧滑块、控制台，再次固定加工台的位置；同一规格的芯片的批量加工，依照记录的纵坐标显示器、横坐标显示器、高度显示器的数值，重复第二步以下步骤；

第五步，完成；加工工作完成后，取下加工好的芯片，拆下载物夹片，移走卡具；如果需要加工另外规格的芯片时，重复第一步以下的操作。