[发明专利]一种可调式芯片卡具的使用方法

说明书

本发明提供了一种可调式芯片卡具的使用方法，其特征包括以下步骤：第一步，准备；第二步，固定芯片；（a）若是大尺寸、矩形芯片，选择带有一对夹片横移动板和一对夹片纵移动板的载物夹片；（b）若是大尺寸、圆形芯片，选择带有弧形移动板、纵固定板、横固定板的载物夹片；（c）若是小尺寸、圆形或矩形芯片，选择带有弧形移动板、纵固定板、横固定板的载物夹片；第三步，固定加工台位置；第四步，加工芯片；第五步，完成。本发明的有益效果是，使用方法灵活，操作简便；即可对不同形状和尺寸大小的芯片加工工件实现固定，还能够精确进行三维坐标的调整；不仅缩短了操作时间，提高了效率，而且精确找准与准确读数也更加容易，确保了加工精密度。

技术领域

本发明涉及一种芯片卡具的使用方法，具体是一种用于在光刻机光刻芯片时，用于固定芯片的可调式芯片卡具的使用方法。

技术背景

目前，由于很多光刻机没有固定的卡具，在光刻芯片时，没有卡具的固定，在操作的过程中可能不小心碰到芯片基板，这样就会使光刻的位置发生改变，甚至导致光刻失败而重新操作，影响加工时间、效率、质量。其次，芯片的形状和尺寸大小多样，目前的卡具难于适应各种形状和大小尺寸的芯片的固定。再有，某些芯片需要多次光刻，没有卡具的固定将很难将精确的把芯片放回原来位置。

因此，需要一种固定芯片的可调式芯片卡具的使用方法，来解决这些问题。新方法需要它既可以固定芯片，又可以使芯片进行精确移动。

发明内容

本发明卡具，目的在于开发一种新型的卡具的使用方法，该卡具的使用方法不仅能对不同芯片进行固定，还方便移动，能减少操作时间，提高效率。

本发明的技术方案为：一种可调式芯片卡具的使用方法，使用的卡具由底轨、控制台、加工台、载物夹片，四部分组成。所述底轨是一个上表面呈矩形，在顶表面上加工有滑动轨道的条形的长方体底座。控制台的底面加工嵌入安装有与底轨的水平方向十字垂直的横轨，控制台通过上下两端头分别安装在横轨和底轨的滑块与底轨连接成一体。控制台内部中心位置安装有升降柱，升降柱的顶端头与加工台牢固连接。加工台通过台面前后两边的2个夹片固定条安装或拆卸载物夹片。发明能够保证卡具前后、左右、上下灵活调整三维坐标位置。所述载物夹片是尺寸略小于加工台台面的一个矩形薄片，矩形的两个长边能够与2个夹片固定条配合固定或拆卸掉载物夹片。发明能够方便更换载物夹片。一种常规的载物夹片，在矩形薄片的两个长边和两个短边上，加工有一对夹片纵移动板和一对夹片横移动板，本发明适用于这种常规的载物夹片，并能够方便安装。一种适用多规格芯片的载物夹片，在矩形薄片的一个长边，从长边一端开始的一段长度上，加工有一段横固定板，横固定板只加工了一段的长度，没有整个边都是，目的是为了与弧形移动板配合。横固定板的傍边加工有一个水平方向相互垂直的纵固定板，在纵固定板上安装有一个弧形开口对着横固定板的弧形移动板。加工的一段横固定板的长度与弧形移动板的长度相等，保证了弧形移动板和横固定板的充分配合。弧形移动板的形状像镰刀有直柄和弧形开口，弧形开口的是以中间一个凹型的小矩形为中心，依次以小矩形的大小，两边对称呈阶梯状、平行递增小矩形形成的弧形台阶齿的形状。该发明设计能够适用矩形或圆形的不同尺寸大小的芯片。横固定板与弧形移动板中间的凹型小矩形对应，在对着弧形移动板的一边的中心位置处加工有中间凹边，中间凹边的设计便于圆形芯片的固定。并且横固定板在对着弧形移动板的一边上，与边平齐安装有水平放置、竖直端对着弧形移动板的L形固定条。L形固定条能够沿着横固定板左右移动和固定。L形固定条发明是便于夹持固定小尺寸的矩形或圆形的芯片，L形固定条的竖直段能够深入弧形移动板的弧形开口内部。一种可调式芯片卡具的使用方法，其特征在于。

第一步，准备。先将卡具固定在光刻机上。根据芯片的形状、大小尺寸，选择载物夹片。

第二步，固定芯片。通过加工台上2个夹片固定条安装选择好的载物夹片，放上待加工的芯片固定位置。