[发明专利]晶振探头结构和蒸镀装置

说明书

一种晶振探头结构和蒸镀装置。该晶振探头结构包括导流罩、晶振头和网筛结构，所述导流罩包括带有导流口的腔室，所述导流口使得所述腔室与外界连通，所述晶振头固定于所述腔室内，所述晶振头包括至少一个晶振片，所述网筛结构包括多个开孔，并且所述网筛结构设置于所述导流罩且位于所述晶振头的面向所述导流口的一侧。在该晶振探头结构的使用过程中，网筛结构可以减小晶振片的频率下降速率，延长晶振片的使用寿命，从而提高晶振探头结构的监控精度。

技术领域

本公开至少一个实施例涉及一种晶振探头结构和蒸镀装置。

背景技术

近几年来，具有有机发光显示屏(OLED)的手机等电子显示产品得到了用户的广泛认可，而且OLED可以做成柔性屏甚至折叠屏，具有很大的发展前景。OLED的核心发光部分(例如有机发光功能层)利用蒸镀工艺形成，因此对有机发光功能层的膜层厚度的控制至关重要。

在蒸镀过程中，通常使用晶振探头结构对有机发光功能层的膜层厚度进行监控，晶振探头结构中的晶振片上也会被蒸镀用于形成有机发光功能层的材料，该材料会增加晶振片的厚度，并降低晶振探头的监控精度。对于当前的晶振探头结构，晶振片的厚度增加速率大，导致晶振探头的监控精度下降过快，需要频繁更换晶振片，成本大，不能满足生产需求。

发明内容

本公开至少一个实施例提供了一种晶振探头结构，该晶振探头结构包括导流罩、晶振头和网筛结构，所述导流罩包括带有导流口的腔室，所述导流口使得所述腔室与外界连通，所述晶振头固定于所述腔室内，所述晶振头包括至少一个晶振片，所述网筛结构包括多个开孔，并且所述网筛结构设置于所述导流罩且位于所述晶振头的面向所述导流口的一侧。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述网筛结构固定于所述导流口。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述导流口和所述网筛结构为圆形，所述开孔以所述网筛结构的圆心为中心向外均匀排布。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述网筛结构的开口率为1/10～1/2。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述开孔的形状包括三角形、圆形、矩形和多边形之一。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述开孔为圆形，并且所述开孔的直径为0.5～4毫米。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述导流罩至少部分为圆筒形。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述晶振头包括基座，所述晶振片固定在所述基座的面向所述导流口的一侧。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述基座上设置有一个所述晶振片，所述晶振片在所述基座上的正投影位于所述导流口在所述基座上的正投影之内。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述基座上设置有至少两个所述晶振片，所述基座上设置有遮挡板，所述遮挡板位于所述晶振片和所述导流口之间，以及所述晶振片中的一个在所述基座上的正投影位于所述遮挡板在所述基座上的正投影之外，所述晶振片中的其它在所述基座上的正投影位于所述遮挡板在所述基座上的正投影之内。

例如，本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构还包括位于所述基座上的驱动单元，其中，所述驱动单元与所述遮挡板连接，并且所述驱动单元配置为驱动所述遮挡板旋转，以使得所述晶振片依次暴露于所述导流口。

例如，在本公开至少一个实施例提供的晶振探头结构中，所述腔室的内径和所述导流口的内径相等。