[发明专利]一种多晶硅片用贴合夹具在审

专利信息
申请号: 201811045311.4 申请日: 2018-09-07
公开(公告)号: CN110890304A 公开(公告)日: 2020-03-17
发明(设计)人: 何飞;张靖 申请(专利权)人: 江苏德润光电科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/687;H01L31/18
代理公司: 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 代理人: 朱进
地址: 225600 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 硅片 贴合 夹具
【权利要求书】:

1.一种多晶硅片用贴合夹具,包括框体(1),其特征在于:所述框体(1)内部靠近顶部处设置有两个第一弧形夹板(10),两个所述第一弧形夹板(10)的下方设置有两个第二弧形夹板(11),两个所述第一弧形夹板(10)和第二弧形夹板(11)与框体(1)相对的顶部和底部上分别安装有第一连接杆(6)和第二连接杆(13),所述第一连接杆(6)和第二连接杆(13)上分别开设有第一滑孔(7)和第二滑孔(14),两个所述第一滑孔(7)和第二滑孔(14)内分别套设有第一横杆(4)和第二横杆(12),所述第一横杆(4)和第二横杆(12)的右端分别穿过第一滑孔(7)和第二滑孔(14),并安装有第一滑块(8),所述框体(1)右侧内壁上开设有与第一滑块(8)相匹配的第一滑槽(9),所述框体(1)左壁上开设有活动槽(2),所述第一横杆(4)和第二横杆(12)的左端分别穿过第一滑孔(7)和第二滑孔(14),并穿过活动槽(2)延伸到框体(1)外固定连接有调节机构(3),所述框体(1)内腔顶部和底部靠近两侧处均安装有伸缩杆(5),所述伸缩杆(5)与框体(1)相远离的一端分别与第一横杆(4)的顶部和第二横杆(12)的底部固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用贴合夹具,其特征在于:所述调节机构(3)包括安装盒(301),所述安装盒(301)内部靠近两侧处分别设置有第一活动杆(303)和第二活动杆(304),所述第一活动杆(303)和第二活动杆(304)与安装盒(301)相对的侧壁上安装有第二滑块(307),所述安装盒(301)的左右两侧内壁上开设有与第二滑块(307)相匹配的第二滑槽(305),所述安装盒(301)的顶部和底部上分别开设有与第一活动杆(303)和第二活动杆(304)相匹配的通孔(309),所述第一活动杆(303)的顶端和第二活动杆(304)的底端穿过通孔(309),并延伸到安装盒(301)外,所述第一横杆(4)的顶部和第二横杆(12)的左端分别与第一活动杆(303)和第二活动杆(304)的右壁固定连接,所述第一活动杆(303)和第二活动杆(304)相对的侧壁上均开设有若干个均匀分布的齿条(308),所述第一活动杆(303)和第二活动杆(304)之间设置有与齿条(308)相匹配的齿轮(306),所述齿轮(306)通过转轴和轴承与安装盒(301)前后两侧内壁活动连接,所述齿轮(306)前壁上的转轴穿过轴承的内圈,并贯穿安装盒(301)的前壁延伸到安装盒(301)外固定连接有摇把(302)。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用贴合夹具,其特征在于:两个所述第二连接杆(13)相对的侧壁上均安装有螺纹杆(15),所述第二横杆(12)的底部固定连接有转动轴承(16),所述转动轴承(16)的内圈插入有螺纹管(17),且螺纹管(17)的两端均延伸到转动轴承(16)外,两个所述螺纹杆(15)相对的一端均插入螺纹管(17)内,所述螺纹管(17)的底部靠近右侧处安装有把手(18)。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用贴合夹具,其特征在于:所述第一弧形夹板(10)和第二弧形夹板(11)相对的内壁上安装有若干个均匀分布的强力吸盘(19),所述第一弧形夹板(10)和第二弧形夹板(11)左右两侧壁上均安装有固定板(21),所述固定板(21)上开设有螺丝孔(22),所述螺丝孔(22)内沿竖直方向上插入有螺丝(20)。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅片用贴合夹具,其特征在于:所述伸缩杆(5)包括圆管和细杆,且圆管和细杆通过紧固螺丝实现固定,两个所述伸缩杆(5)以框体(1)的中心轴线为对称轴呈左右对称。

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