[发明专利]形状测定装置的控制方法

权利要求书

1.一种形状测定装置的控制方法，所述形状测定装置使探头沿着测定对象物的表面移动来测定所述测定对象物的形状，所述形状测定装置的控制方法包括：

基于根据预先获得的所述测定对象物的形状数据设定的移动路径的形状，生成用于使所述探头沿所述移动路径移动的速度图案；

判定所述速度图案的速度变更的定时是否与所述形状测定装置的控制采样周期同步；并且

在所述速度图案的速度变更的所述定时与所述控制采样周期不同步的情况下，对所述速度图案进行修正使得所述速度图案的速度变更的所述定时与所述形状测定装置的控制采样周期同步。

2.根据权利要求1所述的形状测定装置的控制方法，其特征在于，

所述对所述速度图案进行修正使得所述速度图案的速度变更的所述定时与所述形状测定装置的控制采样周期同步的步骤包括：

在所述速度图案为梯形图案的情况下，

将修正前的加速区间的控制采样次数设为Na，将修正前的减速区间的控制采样次数设为Nd，将修正前的等速区间的控制采样次数设为Nf，将修正前的整体的控制采样次数设为Nt；

通过对所述修正前的整体的控制采样次数Nt的小数点以下进行向上舍入来计算修正后的整体的控制采样次数Ntm；

通过对所述Na进行向上舍入来计算修正后的所述加速区间的控制采样次数Nam；

通过对所述Nd进行向上舍入来计算修正后的所述减速区间的控制采样次数Ndm；

通过Ntm-(Nam+Ndm)-2来计算修正后的所述等速区间的控制采样次数Nft；并且

在所述加速区间与所述等速区间之间以及所述等速区间与所述减速区间之间分别插入与一个控制采样周期相应的量的调整区间。

3.根据权利要求2所述的形状测定装置的控制方法，其特征在于，

所述对所述速度图案进行修正使得所述速度图案的速度变更的所述定时与所述形状测定装置的控制采样周期同步的步骤包括：

在所述调整区间的加速度与修正前的加速度进行对比时符号相反的情况下，

将所述Nam减去1，将所述Ndm减去1。

4.根据权利要求1所述的形状测定装置的控制方法，其特征在于，

所述对所述速度图案进行修正使得所述速度图案的速度变更的所述定时与所述形状测定装置的控制采样周期同步的步骤包括：

在所述速度图案为三角图案的情况下，

将修正前的加速区间的控制采样次数设为Na，将修正前的减速区间的控制采样次数设为Nd，将修正前的整体的控制采样次数设为Nt；

通过对所述修正前的整体的控制采样次数Nt的小数点以下进行向上舍入来计算修正后的整体的控制采样次数Ntm；

通过将对所述Na进行向上舍入所得到的值减去1，来计算修正后的所述加速区间的控制采样次数Nam；

通过将对所述Nd进行向上舍入所得到的值减去1，来计算修正后的所述减速区间的控制采样次数Ndm；

通过Ntm-(Nam+Ndm)-2来计算修正后的等速区间的控制采样次数Nft；并且，

在所述加速区间与所述等速区间之间以及所述等速区间与所述减速区间之间分别插入与一个控制采样周期相应的量的调整区间。