[发明专利]形状测定装置的控制方法

说明书

本发明提供一种形状测定装置的控制方法，使速度图案的加减速变更的定时与控制采样周期同步，从而避免产生控制偏差。基于根据预先获得的测定对象物的形状数据设定的移动路径的形状，生成用于沿移动路径移动的速度图案。判定速度图案的速度变更的定时是否与形状测定装置的控制采样周期同步。在速度图案的速度变更的定时与控制采样周期不同步的情况下，对速度图案进行修正使得速度图案的速度变更的定时与形状测定装置的控制采样周期同步。

本申请基于2017年9月8日提交的日本专利申请号2017-173575要求优先权，其公开内容通过引用而整体纳入本申请。

技术领域

本发明涉及一种形状测定装置的控制方法。

背景技术

已知一种通过使探头沿着测定对象物的表面进行扫描移动来对测定对象物的形状进行测定的形状测定装置(例如，参照专利文献1、2、3)。在扫描测定中，需要事先生成扫描测定的路径。

在专利文献1所记载的装置中，将基于CAD数据等得到的设计值(例如NURBS(Non-Uniform Rational B-Spline：非均匀有理B样条)数据)变换为规定次数的多项式曲线群。

简单地对该过程进行说明，首先，从外部的CAD系统等接收包含路径信息的CAD数据(例如NURBS数据)，将该CAD数据变换为点群的数据。各点的数据为将坐标值(x，y，z)与法线方向(P，Q，R)组合而成的数据(也就是说，是(x，y，z，P，Q，R)。)。

在本说明书中，为了以后的说明，将具有(x，y，z，P，Q，R)信息的点群的数据称为轮廓点数据。

接着，使各点的坐标值沿法线方向偏移规定量(规定量具体是指触针头半径r-基准偏差量E0。)。将通过这样求出的点群数据称为已偏移轮廓点数据。

然后，将已偏移轮廓点数据变换为规定次数的多项式曲线群。

在此，作为多项式，使用三次函数，设为PCC曲线群(Parametric Cubic Curves：参数三次曲线)。

基于该PCC曲线生成扫描测定的路径。并且，对PCC曲线进行分割而设为分割PCC曲线群。

基于分割PCC曲线群计算速度曲线，来计算探头的移动速度(移动矢量)。例如，基于分割PCC曲线群的各片段的曲率等来设定探头的移动速度(移动矢量)。基于像这样计算出的移动速度来使探头沿着测定对象物的表面移动(被动标称扫描测定)。

并且，还已知一种为了使探头的偏差量固定而时刻地计算偏差修正矢量来一边修正轨迹一边进行扫描测定的方法(主动标称扫描测定)。

简单地介绍专利文献2(日本特开2013-238573号公报)中所公开的“主动标称扫描测定”。在“主动标称扫描测定”中，将通过下面的(式1)表示的合成矢量V设为探头的矢量移动指令。

当探头进行基于合成矢量V的移动时，实现探头(触针头)以沿着PCC曲线的方式移动并使偏差量固定的工件表面扫描测定、也就是“主动标称扫描测定”。

V＝Gf×Vf+Ge×Ve+Gc×Vc···(式1)

参照图1简单地说明式1的意思。

在图1中，PCC曲线(也就是扫描路径)位于从设计数据(轮廓点数据)偏移了规定量(触针头半径r-基准偏差量E0)的地方。

另外，在图1中，实际的工件稍微偏离于设计数据。

矢量Vf为路径速度矢量。路径速度矢量Vf具有从PCC曲线上的插值点(i)朝向下一个插值点(i+1)的方向。此外，路径速度矢量Vf的大小例如基于PCC曲线的在插值点(i)处的曲率决定(例如专利文献3)。