[发明专利]切削装置

权利要求书

1.一种切削装置，其具有：

卡盘工作台，其对被加工物进行保持；

切削单元，其一边对该卡盘工作台所保持的被加工物提供切削水，一边使切削刀具旋转而实施切削加工；以及

加工进给单元，其将该卡盘工作台和该切削单元相对地进行加工进给，

该切削单元包含：

主轴，其将切削刀具安装为能够旋转；

主轴壳体，其将该主轴支承为能够旋转；

刀具罩，其安装于该主轴壳体并且覆盖该切削刀具；

切削水提供喷嘴，其对该切削刀具提供切削水；以及

刀具监视器，其具有对切削刀具的切刃进行监视的端面，

该刀具监视器具有发光部和受光部，该发光部具有射出端面，该受光部具有受光端面，

在该射出端面的表面和该受光端面的表面上分别具有凹部，

在该切削刀具的旋转停止时，对该射出端面和该受光端面进行净化的清洗液被提供至该射出端面的凹部和该受光端面的凹部，并通过表面张力的作用保持在该射出端面的凹部和该受光端面的凹部中，在实施切削加工时，不提供该清洗液而将该清洗液从该凹部去除。

2.根据权利要求1所述的切削装置，其中，

该清洗液包含稀释氢氟酸和表面活性剂中的任意一种。