[发明专利]气凝胶电容器及制造该气凝胶电容器的方法

说明书

本发明提供一种气凝胶电容器及制造该气凝胶电容器的方法。所述气凝胶电容器包括：基板，包括电容器结构和支撑件，所述电容器结构包括气凝胶、介电层和导电层，所述支撑件围绕所述电容器结构；以及电极单元，包括设置在所述基板上的第一电极和第二电极。所述第一电极连接到所述气凝胶，所述第二电极连接到所述导电层。

本申请要求于2017年9月29日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0128097号韩国专利申请以及于2017年11月24日在韩国知识产权局提交的第10-2017-0158295号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用被全部包含于此。

技术领域

本公开涉及一种气凝胶电容器及制造该气凝胶电容器的方法。

背景技术

随着多层陶瓷电容器(MLCC)达到其容量极限，已经不断地开发具有高容量的电容器。具体地，最近已开发了使用气凝胶的电容器。

气凝胶是一种具有处于液体的物理性质和气体的物理性质之间的特殊的物理性质(诸如焓和密度)的新型材料。气凝胶可通过用空气取代通过溶胶-凝胶溶液反应形成的凝胶溶液而形成，从而可制造比空气轻的低密度气凝胶结构。

使用原子层沉积(ALD)在气凝胶结构上形成金属/电介质/金属的多层结构的气凝胶电容器由于其每单位体积高表面积的特性而引起关注。近来，已经开发了具有多孔结构的气凝胶电容器。然而，尚未获得在气凝胶电容器上形成外电极的方法以及将外电极连接到设置在气凝胶电容器中的内电极的方法。

发明内容

本公开的一方面可提供一种使外电极容易地连接到电容器结构的内电极的气凝胶电容器。

根据本公开的一方面，一种气凝胶电容器包括：基板，包括电容器结构和支撑件，所述电容器结构包括气凝胶、介电层和导电层，所述支撑件围绕所述电容器结构；以及电极单元，包括设置在所述基板上的第一电极和第二电极。所述第一电极连接到所述气凝胶，所述第二电极连接到所述导电层。

根据本公开的另一方面，一种制造气凝胶电容器的方法包括如下步骤：设置呈圆柱形状的气凝胶；将所述气凝胶连接到第一电极；在所述气凝胶上依次形成介电层和导电层；以及将所述导电层连接到第二电极。

附图说明

通过下面结合附图进行的详细描述，本公开的以上和其他方面、特征和优点将被更加清楚地理解，在附图中：

图1是根据本公开的示例性实施例的气凝胶电容器的透视图；

图2是根据本公开的示例性实施例的电容器结构的放大图；

图3是根据本公开的另一示例性实施例的气凝胶电容器的透视图；以及

图4是根据本公开的另一示例性实施例的气凝胶电容器的透视图。

具体实施方式

在下文中，现在将参照附图详细地描述本公开的示例性实施例。

图1是根据本公开的示例性实施例的气凝胶电容器的透视图。

参照图1，气凝胶电容器10可包括基板100和电极单元200。

基板100可包括电容器结构110和支撑件120。电容器结构110可具有管形状。可设置具有管形状的至少一个电容器结构110，并且至少一个电容器结构110可被拉长以设置为细管缠搅的形式。

图2是根据本公开的示例性实施例的电容器结构的放大图。

参照图2，电容器结构110可包括气凝胶111、围绕气凝胶111的介电层112以及围绕介电层112的导电层113。电容器结构110可具有围绕气凝胶111同轴地形成的介电层112和导电层113，从而气凝胶111处于中央处。作为示例，介电层112可形成为至少部分地围绕气凝胶111，导电层113可形成为至少部分地围绕介电层112。