[发明专利]用于使半导体制造设备的用户交互自动化的系统和方法

权利要求书

1.一种用于使半导体制造设备的用户交互自动化的系统，其包括：

接口，其用以接收衬底处理工具的状态，所述衬底处理工具包括被配置为处理衬底的多个处理模块，其中，基于从所述衬底处理工具的所述处理模块以及从与所述衬底处理工具相关联的多个传感器接收的数据来确定所述衬底处理工具的状态；以及

耦合到所述接口的控制器，其用以：

产生由所述接口接收的所述衬底处理工具的所述状态与先前由所述衬底处理工具响应于所述状态的先前出现而从所述接口接收的用以控制所述衬底处理工具的输入之间的关联；以及

基于由所述接口接收的所述衬底处理工具的所述状态与先前由所述衬底处理工具响应于所述状态的所述先前出现而从所述接口接收的所述输入之间的所述关联，生成包括类似于先前接收到的所述输入的响应的输出，以控制所述衬底处理工具。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器被配置为将所述衬底处理工具的多个状态以及由所述衬底处理工具基于所述多个状态接收的相应输入存储在数据库中，并且使用所述数据库执行所述关联。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述控制器被配置为基于与所述衬底处理工具和附加的衬底处理工具中的一个或多个相关的历史数据来更新所述数据库，并且使用所更新的所述数据库来执行所述关联。

4.根据权利要求2所述的系统，其中所述控制器被配置为将与附加的衬底处理工具相关的数据存储在所述数据库中，所述数据包括所述附加的衬底处理工具的状态以及由所述附加的衬底处理工具基于所述状态接收的相应输入，并且使用所述数据来执行所述关联。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述衬底处理工具的所述状态包括指示与所述衬底处理工具相关的错误的数据，并且其中所述输入包括指示对所述错误的响应的数据。

6.根据权利要求1所述的系统，其中所述衬底处理工具的所述状态包括指示与所述衬底处理工具相关的即将发生的错误的数据，并且其中所述输入包括指示用以防止所述错误的响应的数据。

7.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器被配置为检测所述衬底处理工具的操作者的存在，并根据由所述操作者基于所述输出接收的响应来控制所述衬底处理工具。

8.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器被配置为检测所述衬底处理工具的操作者的不存在，并且基于所述输出在不存在所述操作者的情况下控制所述衬底处理工具。

9.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器被配置为检测所述衬底处理工具的操作者的不存在，并且将有关所述输出通知所述操作者。

10.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器被配置为基于所述输出来控制所述衬底处理工具，以确保完成对所述衬底的处理，防止对所述衬底的损坏，以及防止所述处理模块的空转。

11.根据权利要求1所述的系统，其中，所述控制器被配置为基于所述输出控制所述衬底处理工具，以优化所述处理模块对所述衬底的处理的调度。

12.一种用于使半导体制造设备的用户交互自动化的方法，其包括：

从衬底处理工具的多个处理模块和与所述衬底处理工具相关联的多个传感器接收数据；

基于从所述处理模块和所述传感器接收的所述数据确定所述衬底处理工具的状态；

产生所述衬底处理工具的所述状态与先前由所述衬底处理工具响应于所述状态的先前出现而接收的用以控制所述衬底处理工具的输入之间的关联；以及

基于所述衬底处理工具的所述状态与先前由所述衬底处理工具响应于所述状态的所述先前出现而接收的所述输入之间的所述关联，生成包括类似于先前接收到的所述输入的响应的输出，以控制所述衬底处理工具。