[发明专利]显示模组清洗装置及其清洗方法

说明书

一种显示模组清洗装置，其特征在于，包括：管道和喷头；管道分为主路管道和辅路管道；主路管道一侧连接进水口，另一侧连接辅路管道；其中，主路管道分为第一主路管道、第二主路管道和第三主路管道，第一主路管道和第二主路管道之间的距离等于第二主路管道和第三主路管道之间的距离，且这三条主路管道均设置于辅路管道；第一主路管道、第二主路管道和第三主路管道分别单独与进水口相连接；辅路管道另一侧设置喷头，喷头正对于基板面进行设置；有益效果：通过将单侧进水改为双侧加中间同时进水，提高了现有技术中显示模组清洗不均匀，局部不干净的问题，可以使显示模组清洗不良导致的缺陷得到改善。

技术内容

本发明涉及面板领域，特别是涉及一种显示模组清洗装置及其清洗方法。

背景技术

随着液晶面板行业越来越朝着高清显示方向发展，大尺寸液晶面板的需求越来越受到市场的青睐，国内已有多家G11代面板厂商已建成或正常建设中，随着显示能力的提高，清晰度的要求越高，面板上线路的线宽越来越细，极细微的异物都会导致图形的验证变形，因此，显示模组的洁净度在一定程度也影响了其显示效果。为了提高产品良率，在生产过程中，对无尘室环境洁净度及设备清洗能力的要求越来越高。阵列光刻生产线(ArrayPhoto Line)通常为阵列厂的产能瓶颈，涂布显影设备因细小颗粒物(Particle)等导致的产品重工占该工艺中的50％以上(由于基板清洗不干净所导致的)；不仅影响产能，也会影响产品良率的提升；因此，提高设备清洗能力可显著提升大时代面板生产线的生产效率。

在现有的技术中，清洗管路的进水管一般都是从单侧进水，详见图1，101为进水口，控制整个清洗装置的进水；102为进水管道，负责将进水口流入的水输送到各喷头103处，再经喷头103喷出对基板进行冲洗。但是随着基板尺寸的增加，进水管道的长度也会随之增加，距离进水口越远的地方其水压也会逐渐减小，因此，其对基板的清洗能力也会随之减弱，导致在距离进水口远的地方其基板表面的异物或是光阻有残留，基板局部清洗不干净。

综上所述，在现有的显示模组的清洗技术中，还存在基板局部清洗不干净的问题未能得到解决，急需改进。

发明内容

本发明涉及一种显示模组清洗装置及其清洗方法，用于解决现有技术中存在的基板面清洗不均匀，局部不干净的问题。

本发明提供的显示模组清洗装置，包括：管道和喷头；

所述管道分为主路管道和辅路管道；

所述主路管道一侧连接进水口，另一侧连接所述辅路管道；

其中，所述主路管道分为第一主路管道、第二主路管道和第三主路管道，所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道均设置于所述辅路管道一侧，且所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道分别单独与进水口相连接；

所述辅路管道另一侧设置所述喷头，所述喷头正对于基板面进行设置。

根据本发明提供的一优选实施例，相邻所述喷头平均且等距地设置于所述辅路管道。

根据本发明提供的一优选实施例，所述第一主路管道与所述第二主路管道之间的距离等于所述第二主路管道与所述第三主路管道之间的距离。

根据本发明提供的一优选实施例，所述辅路管道两端结尾处设置有连接装置，所述连接装置处连接密封盖或是下一段清洗装置。

根据本发明提供的一优选实施例，所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道的直径、材质和外形都相同。

根据本发明提供的一优选实施例，所述第一主路管道、所述第二主路管道和所述第三主路管道的中段位置各呈90度弯折后与所述辅路管道连接。

根据本发明提供的一优选实施例，所述辅路管道两端结尾处使用时用密封盖连接。