[发明专利]缺陷检查装置、缺陷检查方法、圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法

权利要求书

1.一种缺陷检查装置，其对具有直线偏振板和层叠于所述直线偏振板的相位差板的圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷进行检查，

所述缺陷检查装置的特征在于，具备：

光照射部，其配置在所述圆偏振板或椭圆偏振板所具有的所述直线偏振板侧，向所述圆偏振板或椭圆偏振板的摄像区域照射检查光；

反射构件，其在从所述圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与所述光照射部相反的一侧，将从被照射了所述检查光的所述圆偏振板或椭圆偏振板输出的光向所述圆偏振板或椭圆偏振板侧反射；以及

摄像部，其在从所述圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与所述光照射部相同的一侧，对所述摄像区域进行拍摄。

2.一种缺陷检查装置，其检查将直线偏振光转换成圆偏振光或椭圆偏振光并输出的相位差板的缺陷，

所述缺陷检查装置的特征在于，具备：

直线偏振板；

光照射部，其使检查光通过所述直线偏振板而向所述相位差板的摄像区域照射；

反射构件，其在从所述相位差板观察时配置在与所述光照射部相反的一侧，将从被照射了所述检查光的所述相位差板输出的光向所述相位差板侧反射；以及

摄像部，其在从所述相位差板观察时配置在与所述光照射部相同的一侧，通过所述直线偏振板来拍摄所述摄像区域。

3.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其中，

所述光照射部将所述检查光以与所述摄像部的光轴同轴的方式向所述摄像区域照射。

4.根据权利要求1或2所述的缺陷检查装置，其中，

所述光照射部将所述检查光以与所述摄像部的光轴交叉的光轴向所述摄像区域照射。

5.根据权利要求1、2、4中任一项所述的缺陷检查装置，其中，

所述光照射部具有以包围所述摄像部的周围的方式配置的多个光源。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的缺陷检查装置，其中，

所述反射构件是表面被镜面加工了的辊。

7.一种缺陷检查方法，其对具有直线偏振板和层叠于所述直线偏振板的相位差板的圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷进行检查，

所述缺陷检查方法的特征在于，包括：

将来自光照射部的检查光从所述直线偏振板侧向所述圆偏振板或椭圆偏振板的摄像区域照射的光照射工序；

利用反射构件将从被照射了所述检查光的所述圆偏振板或椭圆偏振板输出的光向所述圆偏振板或椭圆偏振板侧反射的反射工序；以及

由摄像部来拍摄所述摄像区域的拍摄工序，其中，所述摄像部在从所述圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与所述光照射部相同的一侧。

8.根据权利要求7所述的缺陷检查方法，其中，

所述反射构件是表面被镜面加工了的辊，

一边利用所述辊输送长条的所述圆偏振板或椭圆偏振板，一边实施所述光照射工序、所述反射工序及所述拍摄工序。

9.一种缺陷检查方法，其检查将直线偏振光转换成圆偏振光或椭圆偏振光并输出的相位差板的缺陷，

所述缺陷检查方法的特征在于，包括：

使来自光照射部的检查光通过直线偏振板而向所述相位差板的摄像区域照射的光照射工序；

利用反射构件将从被照射了所述检查光的所述相位差板输出的光向所述相位差板侧反射的反射工序；以及

由摄像部通过所述直线偏振板来拍摄所述摄像区域的拍摄工序，其中，所述摄像部在从所述相位差板观察时配置在与所述光照射部相同的一侧。

10.根据权利要求9所述的缺陷检查方法，其中，

所述反射构件是表面被镜面加工了的辊，

一边利用所述辊输送长条的所述相位差板，一边实施所述光照射工序、所述反射工序及所述拍摄工序。