[发明专利]缺陷检查装置、缺陷检查方法、圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法

说明书

本发明提供高通用性的用于检查圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷或者在圆偏振光或椭圆偏振光的生成中使用的相位差板的缺陷的缺陷检查装置及缺陷检查方法、及使用该缺陷检查方法的圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法。缺陷检查装置具备：光照射部，其配置在圆偏振板或椭圆偏振板所具有的直线偏振板侧，向圆偏振板或椭圆偏振板的摄像区域照射检查光；反射构件，其在从圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与光照射部相反的一侧，将从被照射了检查光的圆偏振板或椭圆偏振板输出的光向圆偏振板或椭圆偏振板侧反射；摄像部，其在从圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与光照射部相同的一侧。

技术领域

本发明涉及缺陷检查装置、缺陷检查方法、圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法。

背景技术

作为本技术领域的现有技术，已知有专利文献1的技术。专利文献1公开了至少层叠有偏振板和光学补偿层的层叠膜的制造方法、缺陷检测装置及缺陷检查方法。在上述光学补偿层具有由直线偏振光生成圆偏振光或椭圆偏振光的功能(相当于相位差板)的情况下，上述层叠膜相当于圆偏振板或椭圆偏振板。在专利文献1的技术中，从作为检查对象的层叠膜的偏振板侧向层叠膜照射光，利用配置在层叠膜的光学补偿层侧的摄像部取得层叠膜的透射光像。在层叠膜与摄像部之间，从层叠膜侧依次配置有检查用相位差滤光片及检查用偏振滤光片。通过上述的滤光片的功能，在层叠膜未产生缺陷的情况下，通过摄像部得到的图像显示为黑，在层叠膜产生缺陷的情况下，在通过摄像部得到的图像中，缺陷部分变明亮。其结果是，在通过摄像部得到的图像中能够判别缺陷的有无。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本专利第4869053号

专利文献1使用的检查用相位差滤光片为了消除由层叠膜具有的光学补偿层引起的相位差而使用。因为，为了更准确地实施检查，检查用相位差滤光片必须根据光学补偿层进行更换。因此，在实施圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷检查或者由直线偏振光生成圆偏振光或椭圆偏振光的相位差板的缺陷检查时，如果适用专利文献l的技术，则缺陷检查装置及缺陷检查方法的通用性下降。

发明内容

因此，本发明目的在于提供一种能够实现高通用性的、用于检查圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷或者在圆偏振光或椭圆偏振光的生成中使用的相位差板的缺陷的缺陷检查装置及缺陷检查方法、以及使用了所述缺陷检查方法的圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法。

本发明的一方案的缺陷检查装置对具有直线偏振板和层叠于所述直线偏振板的相位差板的圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷进行检查，所述缺陷检查装置具备：光照射部，其配置在所述圆偏振板或椭圆偏振板所具有的所述直线偏振板侧，向所述圆偏振板或椭圆偏振板的摄像区域照射检查光；反射构件，其在从所述圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与所述光照射部相反的一侧，将从被照射了所述检查光的所述圆偏振板或椭圆偏振板输出的光向所述圆偏振板或椭圆偏振板侧反射；以及摄像部，其在从所述圆偏振板或椭圆偏振板观察时配置在与所述光照射部相同的一侧，对所述摄像区域进行拍摄。

在假定为圆偏振板或椭圆偏振板不存在缺陷时，在所述缺陷检查装置中，从圆偏振板或椭圆偏振板向反射构件侧输出的光为圆偏振光或椭圆偏振光。以下为了便于说明，将从直线偏振板侧向圆偏振板或椭圆偏振板入射并从圆偏振板或椭圆偏振板输出的光的圆偏振光或椭圆偏振光假定为顺时针的圆偏振光或椭圆偏振光。这种情况下，由反射构件反射的向圆偏振板或椭圆偏振板侧返回的光的圆偏振光或椭圆偏振光为逆时针的圆偏振光或椭圆偏振光。由此，由反射构件反射的光无法通过圆偏振板或椭圆偏振板，因此通过摄像部得到的图像是显示为黑的黑图像。另一方案，当圆偏振板或椭圆偏振板产生缺陷时，由于缺陷而导致偏振状态紊乱，因此从反射构件向圆偏振板或椭圆偏振板侧返回的光包含通过圆偏振板或椭圆偏振板的分量。因此，在通过摄像部得到的图像中，存在与缺陷对应的明亮部。其结果是，能检查圆偏振板或椭圆偏振板的缺陷。